| 講演名 | 2017-07-31 ［招待講演］A Cross Point Cu-ReRAM with a Novel OTS Selector for Storage Class Memory Applications 保田 周一郎(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 大場 和博(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 水口 徹也(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 清 宏彰(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 紫牟田 雅之(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 荒谷 勝久(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 椎本 恒則(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 山元 哲也(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 曽根 威之(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 野々口 誠二(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 奥野 潤(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 河内山 彰(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 大塚 渉(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 筒井 敬一(ソニーセミコンダクタソリューションズ), |
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| 抄録(和) | 本講演では2017 Symposium on VLSI Technologyで発表したストレージクラスメモリ応用に向けたクロスポイント型のCu-ReRAM技術について紹介する．100 nsの書き換え速度，10M 回の書き換え回数を持つ100 Gbクラスのストレージクラスメモリの実用化に向けて2つの重要技術を開発した．1つ目はReRAMの抵抗分布改善技術で，メモリ層中にバリア層を挿入することで実現した．2つ目はセレクタと呼ばれる双方向選択素子に関する技術であり，大規模クロスポイントアレイを作製するのに必要なオフリーク特性，閾電圧ばらつき，スイッチング可能回数をホウ素と炭素を添加したOvonic Threshold Switch (OTS) によって実現した． |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | クロスポイント / 抵抗変化型メモリ / セレクタ |
| キーワード(英) | Cross Point / ReRAM / Selector |
| 資料番号 | SDM2017-34,ICD2017-22 |
| 発行日 | 2017-07-24 (SDM, ICD) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / ICD / ITE-IST |
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| 開催期間 | 2017/7/31(から3日開催) |
| 開催地（和） | 北海道大学情報教育館 |
| 開催地（英） | Hokkaido-Univ. Multimedia Education Bldg. |
| テーマ（和） | アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） | Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications |
| 委員長氏名（和） | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) / 日高 秀人(ルネサス エレクトロニクス) / 須川 成利(東北大) |
| 委員長氏名（英） | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) / Hideto Hidaka(Renesas) / Shigetoshi Sugawa(Tohoku Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) / 永田 真(神戸大) / 浜本 隆之(東京理科大) / 大竹 浩(NHK) |
| 副委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) / Makoto Nagata(Kobe Univ.) / Takayuki Hamamoto(Tokyo University of Science) / Hiroshi Ohtake(NHK) |
| 幹事氏名（和） | 黒田 理人(東北大) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) / 高宮 真(東大) / 橋本 隆(パナソニック) / 池辺 将之(北大) |
| 幹事氏名（英） | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) / Makoto Takamiya(Univ. of Tokyo) / Takashi Hashimoto(Panasonic) / Masayuki Ikebe(Hokkaido Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(東芝メモリ) / 夏井 雅典(東北大) / 柘植 政利(ソシオネクスト) / 伊藤 浩之(東工大) / 範 公可(電通大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(TOSHIBA MEMORY) / Masanori Natsui(Tohoku Univ.) / Masatoshi Tsuge(Socionext) / Hiroyuki Ito(Tokyo Inst. of Tech.) / Pham Konkuha(Univ. of Electro-Comm.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Integrated Circuits and Devices / Technical Group on Information Sensing Technologies |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］A Cross Point Cu-ReRAM with a Novel OTS Selector for Storage Class Memory Applications |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] A Cross Point Cu-ReRAM with a Novel OTS Selector for Storage Class Memory Applications |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | クロスポイント / Cross Point |
| キーワード(2)（和/英） | 抵抗変化型メモリ / ReRAM |
| キーワード(3)（和/英） | セレクタ / Selector |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 保田 周一郎 / Shuichiro Yasuda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大場 和博 / Kazuhiro Ohba |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 水口 徹也 / Tetsuya Mizuguchi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 清 宏彰 / Hiroaki Sei |
| 第 4 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 紫牟田 雅之 / Masayuki Shimuta |
| 第 5 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 荒谷 勝久 / Katsuhisa Aratani |
| 第 6 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 椎本 恒則 / Tsunenori Shiimoto |
| 第 7 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 山元 哲也 / Tetsuya Yamamoto |
| 第 8 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 曽根 威之 / Takeyuki Sone |
| 第 9 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 野々口 誠二 / Seiji Nonoguchi |
| 第 10 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 奥野 潤 / Jun Okuno |
| 第 11 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 河内山 彰 / Akira Kouchiyama |
| 第 12 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 13 著者 氏名（和/英） | 大塚 渉 / Wataru Otsuka |
| 第 13 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 14 著者 氏名（和/英） | 筒井 敬一 / Keiichi Tsutsui |
| 第 14 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporatio(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 発表年月日 | 2017-07-31 |
| 資料番号 | SDM2017-34,ICD2017-22 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | SDM-166,ICD-167 |
| ページ範囲 | pp.17-20(SDM), pp.17-20(ICD), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2017-07-24 (SDM, ICD) |