| 講演名 | 2017-07-22 Al添加ZnOターゲットとスパッタ法により作製される薄膜の関係性の検討 清水 英彦(新潟大), 岩野 春男(新潟大), 川上 貴浩(新潟大), 福嶋 康夫(新潟大), 永田 向太郎(新潟大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | CPM2017-36 |
| 発行日 | 2017-07-14 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2017/7/21(から2日開催) |
| 開催地（和） | 北見工業大学第一総合研究棟２F多目的講義室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料、一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 廣瀬 文彦(山形大) |
| 委員長氏名（英） | Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 武山 真弓(北見工大) |
| 副委員長氏名（英） | Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 岩田 展幸(日大) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 幹事氏名（英） | Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yuichi Akage(NTT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Al添加ZnOターゲットとスパッタ法により作製される薄膜の関係性の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Examination of Relation between Al-doped ZnO Targets and Thin Films Deposited by Sputtering Method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 新潟大学(略称：新潟大) Niigata University(略称：Niigata Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岩野 春男 / Haruo Iwano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 新潟大学(略称：新潟大) Niigata University(略称：Niigata Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 川上 貴浩 / Takahiro Kawakami |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 新潟大学(略称：新潟大) Niigata University(略称：Niigata Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 福嶋 康夫 / Yasuo Fukushima |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 新潟大学(略称：新潟大) Niigata University(略称：Niigata Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 永田 向太郎 / Koutaro Nagata |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 新潟大学(略称：新潟大) Niigata University(略称：Niigata Univ.) |
| 発表年月日 | 2017-07-22 |
| 資料番号 | CPM2017-36 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | CPM-148 |
| ページ範囲 | pp.79-83(CPM), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2017-07-14 (CPM) |