講演名 | 2017-06-20 [依頼講演]SOI技術を用いた量子イメージング検出器の開発 新井 康夫(高エネルギー加速器研究機構), |
---|---|
PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
抄録(和) | シリコンは量子線(光子、X線、ガンマ線、電子、イオン、中性子等)を検出する為の物質として優れていると共に、エレクトロニクスを実装するのに欠かせない材料である。従ってこれらを一体化することが望まれるているが、通常のバルクCMOS集積回路では実現が難しかった。我々はSilicon-on-Insulator (SOI)技術を用いて、センサと読み出し回路を一体化した放射線イメージング検出器を開発した。これにより、従来よりも小さな画素サイズを持った量子線イメージングが可能になると共に、画素ごとにアナログ増幅やデジタル処理を行うことが可能となり、新しい検出方法への道を開いた。 |
抄録(英) | Silicon is a good material for detecting quantum beam (Photon, X-ray, Gamma-ray, Electron, Ion, Neutron etc.) and also good for implementing electronics. Then combining these functions in a single chip is sought but it was difficult to realize in standard bulk CMOS technology. We have developed monolithic radiation image sensors using Silicon-On-Insulator (SOI) technology. This enables smaller pixel size than existing detector and in-pixel data processing, thus opened new detection method. |
キーワード(和) | SOI / 放射線 / イメージング / X線 / 量子線 / CMOS / 検出器 |
キーワード(英) | SOI / radiation / imaging / X-ray / quantum beam / CMOS / detector |
資料番号 | SDM2017-22 |
発行日 | 2017-06-13 (SDM) |
研究会情報 | |
研究会 | SDM |
---|---|
開催期間 | 2017/6/20(から1日開催) |
開催地(和) | キャンパス・イノベーションセンター東京 508(AB) |
開催地(英) | Campus Innovation Center Tokyo |
テーマ(和) | MOSデバイス・メモリ高性能化-材料・プロセス技術 (応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催) |
テーマ(英) | Material Science and Process Technology for MOS Devices and Memories |
委員長氏名(和) | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) |
委員長氏名(英) | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) |
副委員長氏名(和) | 品田 高宏(東北大) |
副委員長氏名(英) | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) |
幹事氏名(和) | 黒田 理人(東北大) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
幹事氏名(英) | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
幹事補佐氏名(和) | 池田 浩也(静岡大) |
幹事補佐氏名(英) | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
---|---|
本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | [依頼講演]SOI技術を用いた量子イメージング検出器の開発 |
サブタイトル(和) | 半導体で素粒子・X線を見る |
タイトル(英) | [Invited Lecture] Development of Quantum Imaging Detector using SOI Technology |
サブタイトル(和) | Looking Elementary Particles and X-rays with Semiconductor |
キーワード(1)(和/英) | SOI / SOI |
キーワード(2)(和/英) | 放射線 / radiation |
キーワード(3)(和/英) | イメージング / imaging |
キーワード(4)(和/英) | X線 / X-ray |
キーワード(5)(和/英) | 量子線 / quantum beam |
キーワード(6)(和/英) | CMOS / CMOS |
キーワード(7)(和/英) | 検出器 / detector |
第 1 著者 氏名(和/英) | 新井 康夫 / Yasuo Arai |
第 1 著者 所属(和/英) | 高エネルギー加速器研究機構(略称:高エネルギー加速器研究機構) High Energy Accelerator Research Organization(略称:KEK) |
発表年月日 | 2017-06-20 |
資料番号 | SDM2017-22 |
巻番号(vol) | vol.117 |
号番号(no) | SDM-101 |
ページ範囲 | pp.5-8(SDM), |
ページ数 | 4 |
発行日 | 2017-06-13 (SDM) |