講演名 | 2017-06-20 [依頼講演]皮膚アセトン測定に向けたWO3ナノ粒子半導体式ガスセンサの研究 山田 祐樹(NTTドコモ), 檜山 聡(NTTドコモ), 田畑 仁(東大), |
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抄録(和) | 皮膚表面から放出されるアセトン(皮膚アセトン)は体脂肪の燃焼マーカーとして知られており,日常的に皮膚アセトンを測定することができれば,ダイエットや健康管理に有効である.しかし,皮膚アセトンの放出量は極微量であるため,高感度な測定手法が必要である.WO3ナノ粒子を用いた半導体ガスセンサは,ポータブルデバイスやウェアラブルデバイスへの実装と,ガスセンサ単体での皮膚アセトン測定を可能とすることが期待されるが,アセトン測定下限に対する粒子径効果の影響が明らかにされていなかった.本稿では,粒子径十nm前後の異なるWO3ナノ粒子を用いた半導体ガスセンサを作製し,アセトンガスに対する粒子径効果の影響およびアセトン測定下限を評価した結果を紹介する. |
抄録(英) | |
キーワード(和) | 生体ガス / アセトン / ガスセンサ / ナノ粒子 / 酸化タングステン / インピーダンス / 粒子径効果 |
キーワード(英) | Bio gas / Acetone / Gas sensor / Nano garticle / Tungsten oxide / Impedance / Grain size effect |
資料番号 | SDM2017-23 |
発行日 | 2017-06-13 (SDM) |
研究会情報 | |
研究会 | SDM |
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開催期間 | 2017/6/20(から1日開催) |
開催地(和) | キャンパス・イノベーションセンター東京 508(AB) |
開催地(英) | Campus Innovation Center Tokyo |
テーマ(和) | MOSデバイス・メモリ高性能化-材料・プロセス技術 (応用物理学会、シリコンテクノロジー分科会との合同開催) |
テーマ(英) | Material Science and Process Technology for MOS Devices and Memories |
委員長氏名(和) | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) |
委員長氏名(英) | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) |
副委員長氏名(和) | 品田 高宏(東北大) |
副委員長氏名(英) | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) |
幹事氏名(和) | 黒田 理人(東北大) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
幹事氏名(英) | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
幹事補佐氏名(和) | 池田 浩也(静岡大) |
幹事補佐氏名(英) | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | [依頼講演]皮膚アセトン測定に向けたWO3ナノ粒子半導体式ガスセンサの研究 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | [Invited Lecture] Studies on semiconducting gas sensors with WO3 nanoparticles for skin-emitted acetone detection |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | 生体ガス / Bio gas |
キーワード(2)(和/英) | アセトン / Acetone |
キーワード(3)(和/英) | ガスセンサ / Gas sensor |
キーワード(4)(和/英) | ナノ粒子 / Nano garticle |
キーワード(5)(和/英) | 酸化タングステン / Tungsten oxide |
キーワード(6)(和/英) | インピーダンス / Impedance |
キーワード(7)(和/英) | 粒子径効果 / Grain size effect |
第 1 著者 氏名(和/英) | 山田 祐樹 / Yuki Yamada |
第 1 著者 所属(和/英) | 株式会社NTTドコモ(略称:NTTドコモ) NTT DOCOMO, INC.(略称:NTT DOCOMO) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 檜山 聡 / Satoshi Hiyama |
第 2 著者 所属(和/英) | 株式会社NTTドコモ(略称:NTTドコモ) NTT DOCOMO, INC.(略称:NTT DOCOMO) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 田畑 仁 / Hitoshi Tabata |
第 3 著者 所属(和/英) | 東京大学(略称:東大) University of Tokyo(略称:Univ. of Tokyo) |
発表年月日 | 2017-06-20 |
資料番号 | SDM2017-23 |
巻番号(vol) | vol.117 |
号番号(no) | SDM-101 |
ページ範囲 | pp.9-13(SDM), |
ページ数 | 5 |
発行日 | 2017-06-13 (SDM) |