| 講演名 | 2017-05-10 クラスタリングを用いたレイアウトパターン分類の一手法 石野 修平(東京農工大), 長谷川 充(東京農工大), 藤吉 邦洋(東京農工大), |
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| 抄録(和) | 集積回路のレイアウト設計はデザインルールを順守して行われるが、微細加工が進んだために、露光の際に問題が発生する可能性が高い箇所が生じてしまうことがある。このような箇所はプロセスシミュレーションを行うことで発見可能だが、時間がかかるため、近年では代替手法として、問題のあった箇所を周囲を含めて指定サイズで切り出し（以降クリップと呼ぶ）、似たクリップ同士をグループ分けしてライブラリを作成しておき、レイアウトのチェックの際には、ライブラリ内のクリップに似たものをレイアウトから探す手法が実用化されている。本稿では、同一グループのクリップが面積などの物理量の観点で、与えられた範囲内に収まるグループ分けを行う。これはNP困難な最小支配集合問題となるためILPソルバーで解くが、問題のサイズが大きいと実用的な時間で解を求めることができない。そこで、ILPの前に、クリップ集合に機械学習のクラスタリングを行い、得られたクラスタごとにILPソルバーで解くというグループ分け手法を提案する。そして提案手法を計算機実装して実験を行い、ILPと組み合わせて実用的な時間で解を求めるという条件において有効な機械学習のクラスタリングを調べる。また、比較実験により提案手法の有効性を確認した。 |
| 抄録(英) | Layout of VLSI circuits is designed according to design rule, however, hotspots may remain due to feature size shrinking. In recent years, we group layout clips of hotspots of similar pattern to create library, which is used to detect hotspots from new layout. The grouping of layout clips is called Layout Pattern Classification. In this paper, we propose a method of layout pattern classification using clustering of machine learning before ILP. Experimental results indicate the effectiveness of the proposed method. |
| キーワード(和) | レイアウトパターン分類 / クラスタリング / 整数線形計画法 |
| キーワード(英) | Layout Pattern Classification / Clustering / ILP |
| 資料番号 | VLD2017-2 |
| 発行日 | 2017-05-03 (VLD) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD / IPSJ-SLDM |
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| 開催期間 | 2017/5/10(から1日開催) |
| 開催地（和） | 北九州国際会議場 |
| 開催地（英） | Kitakyushu International Conference Center |
| テーマ（和） | システム設計および一般 |
| テーマ（英） | System Design, etc. |
| 委員長氏名（和） | 竹中 崇(NEC) / 浜口 清治(島根大) |
| 委員長氏名（英） | Takashi Takenana(NEC) / Kiyoharu Hamaguchi(Shimane Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 越智 裕之(立命館大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroyuki Ochi(Ritsumeikan Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 福田 大輔(富士通研) / 永山 忍(広島市大) / 西出 岳央(東芝) / 高島 康裕(北九州市大) / 許 浩沿(パナソニックセミコンダクタソリューションズ) |
| 幹事氏名（英） | Daisuke Fukuda(Fujitsu Labs.) / Shinobu Nagayama(Hiroshima City Univ.) / Takeo Nishide(Toshiba) / Yasuhiro Takashima(Univ. of Kitakyushu) / Ko Kyo(Panasonic) |
| 幹事補佐氏名（和） | Parizy Matthieu(富士通研) |
| 幹事補佐氏名（英） | Parizy Matthieu(Fujitsu Labs.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on VLSI Design Technologies / Special Interest Group on System and LSI Design Methodology |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | クラスタリングを用いたレイアウトパターン分類の一手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Method of Layout Pattern Classification Using Clustering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レイアウトパターン分類 / Layout Pattern Classification |
| キーワード(2)（和/英） | クラスタリング / Clustering |
| キーワード(3)（和/英） | 整数線形計画法 / ILP |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石野 修平 / Shuhei Ishino |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 長谷川 充 / Mitsuru Hasegawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 発表年月日 | 2017-05-10 |
| 資料番号 | VLD2017-2 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | VLD-17 |
| ページ範囲 | pp.7-12(VLD), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-05-03 (VLD) |