| 講演名 | 2017-04-20 プラズマ法による凸版反転印刷電極の表面処理と有機トランジスタ特性評価 圓岡 岳(山形大), 竹田 泰典(山形大), 岡本 朋子(DIC), 片山 嘉則(DIC), 福田 貴(東ソー), 熊木 大介(山形大), 松井 弘之(山形大), 泉 小波(山形大), 時任 静士(山形大), |
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| 抄録(和) | 印刷法による高精細な電極を形成する技術は、有機トランジスタのさらなる高性能化に加え、センシングデバイスや有機無線タグの実現に向けた、高集積化を実現するための重要な基盤技術である。凸版反転印刷法は常温において銀電極などをサブミクロンの線間隔でパターニングが可能である。しかし、良好な印刷性能を有する金属ナノ粒子インクを用いる場合、電極焼成後、インク由来の保護基や界面活性剤等の有機物が電極表面上に残留し、良好な電気特性を得られないという課題があった。本研究では凸版反転印刷法により形成した電極を有する有機トランジスタの電気的特性の向上を目的とし、N2プラズマ処理によって表面残留物を取り除き、プラズマ処理の有効性を電極表面分析およびトランジスタ特性評価により調べた。電極表面にプラズマ処理を行うことにより、飽和領域の移動度は0.0036から1.1 cm2/Vsへ、On/Off比は10の5乗から10の8乗へと大幅に向上した。 |
| 抄録(英) | Printing high resolution electrodes is an important technology for realizing the high integration of sensing devices and organic radio-frequency tags as well as for further improving the performance of organic transistors. Reverse-offset printing method can form fine patterns of functional materials such as silver nanoparticles with a submicrometer line spacing at room temperature. However, the silver nanoparticle inks for the reverse-offset printing usually contain organic additives such as dispersive agents and surfactants, which degrade their electric performances. In this research, we aimed at improving the electrical characteristics of the organic transistors with the reverse-offset-printed electrodes by nitrogen plasma treatment. The effect of the plasma irradiation was evaluated by the surface analyses of the electrodes and the measurement of transistor characteristics. By irradiating the plasma on the printed silver electrodes, the mobility in the saturated region was improved from 3.6 × 10^ -3 to 1.1 cm2 / Vs by three orders of magnitude, and the on / off ratio was improved from 10^5 to 10^8. |
| キーワード(和) | 凸版反転印刷法 / プラズマ表面処理 / 有機トランジスタ |
| キーワード(英) | reverse-offset printing / nitrogen plasma treatment / organic thin-film transistors |
| 資料番号 | ED2017-7 |
| 発行日 | 2017-04-13 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2017/4/20(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大学電気通信研究所 本館 ６階 大会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 鈴木 寿一(北陸先端大) / 新井 学(新日本無線) |
| 幹事氏名（英） | Toshikazu Suzuki(JAIST) / Manabu Arai(New JRC) |
| 幹事補佐氏名（和） | 東脇 正高(NICT) / 大石 敏之(佐賀大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masataka Higashiwaki(NICT) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラズマ法による凸版反転印刷電極の表面処理と有機トランジスタ特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Surface plasma treatment of reverse-offset-printed electrodes for organic thin-film transistors |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 凸版反転印刷法 / reverse-offset printing |
| キーワード(2)（和/英） | プラズマ表面処理 / nitrogen plasma treatment |
| キーワード(3)（和/英） | 有機トランジスタ / organic thin-film transistors |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 圓岡 岳 / Gaku Tsuburaoka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹田 泰典 / Yasunori Takeda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岡本 朋子 / Tomoko Okamoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | DIC株式会社(略称：DIC) DIC corporation(略称：DIC corpo.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 片山 嘉則 / Yoshinori Katayama |
| 第 4 著者 所属（和/英） | DIC株式会社(略称：DIC) DIC corporation(略称：DIC Corpo.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 福田 貴 / Takashi Fukuda |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東ソー株式会社(略称：東ソー) Tosoh Corporation(略称：Tosoh Corp.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 熊木 大介 / Daisuke Kumaki |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 松井 弘之 / Hiroyuki Matsui |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 泉 小波 / Konami Izumi |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 時任 静士 / Shizuo Tokito |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 発表年月日 | 2017-04-20 |
| 資料番号 | ED2017-7 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | ED-6 |
| ページ範囲 | pp.25-28(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2017-04-13 (ED) |