| 講演名 | 2017-04-21 ［依頼講演］高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ 岡本 浩一郎(NEC), 多田 宗弘(NEC), 伴野 直樹(NEC), 井口 憲幸(NEC), 波田 博光(NEC), 阪本 利司(NEC), 宮村 信(NEC), 辻 幸秀(NEC), 根橋 竜介(NEC), 森岡 あゆ香(NEC), 白 旭(NEC), 杉林 直彦(NEC), |
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| 抄録(和) | 低消費電力FPGAを実現可能とするCu架橋の形成でスイッチングする原子スイッチについて、Cuイオンが伝導するポリマー固体電解質(PSE:polymer-solid electrolyte)の改良を行い、耐熱性と絶縁耐圧を向上させた。耐熱性が400℃以上に向上したことで、標準的なロジックファブのBEOLプロセス温度(400℃)においてCu原子スイッチの集積化が可能となった。高耐熱性(Thermally tolerant)PSE(TT-PSE)を用いて原子スイッチを試作したところ、オン、オフ双方の状態において、-65℃/150℃の1000時間冷熱温度サイクル試験後においても不良は発生せず、高い信頼性を有していることを実証した。 |
| 抄録(英) | Robust Cu atom switch with higher operation reliability has been developed featuring an over-400C thermally tolerant polymer-solid electrolyte (TT-PSE).The improved thermal tolerance of PSE enables atom switch integration using standard Cu-BEOL (fully 400oC) process. The TT-PSE also gives higher breakdown voltage (+1V) with keeping low set voltage (2V). Data retention characteristics after thermal cycle stress at temperature ranging from -65 to 150C for 1000 cycles are also confirmed for the first time. The developed atom switch is to be a technology enabler of reliable reprogrammable logics for future applications operated at high temperatures. |
| キーワード(和) | 原子スイッチ / クロスバー / 不揮発再構成回路 |
| キーワード(英) | Atom switch / Crossbar / Nonvolatile programmable logic |
| 資料番号 | ICD2017-13 |
| 発行日 | 2017-04-13 (ICD) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2017/4/20(から2日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | メモリ技術と集積回路関連一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 藤島 実(広島大) |
| 委員長氏名（英） | Minoru Fujishima(Hiroshima Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 日高 秀人(ルネサス エレクトロニクス) |
| 副委員長氏名（英） | Hideto Hidaka(Renesas) |
| 幹事氏名（和） | 吉田 毅(広島大) / 高宮 真(東大) |
| 幹事氏名（英） | Takeshi Yoshida(Hiroshima Univ.) / Makoto Takamiya(Univ. of Tokyo) |
| 幹事補佐氏名（和） | 橋本 隆(パナソニック) / 夏井 雅典(東北大) / 伊藤 浩之(東工大) / 範 公可(電通大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takashi Hashimoto(Panasonic) / Masanori Natsui(Tohoku Univ.) / Hiroyuki Ito(Tokyo Inst. of Tech.) / Pham Konkuha(Univ. of Electro-Comm.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Integrated Circuits and Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［依頼講演］高耐熱ポリマー固体電解質(TT-PSE)を用いた不揮発プログラマブルロジック向け高信頼性Cu原子スイッチ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Lecture] Highly reliable Cu atom switch using thermally tolerant Polymer-solid Electrolyte (TT-PSE) for Nonvolatile Programmable Logic |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 原子スイッチ / Atom switch |
| キーワード(2)（和/英） | クロスバー / Crossbar |
| キーワード(3)（和/英） | 不揮発再構成回路 / Nonvolatile programmable logic |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岡本 浩一郎 / Koichiro Okamoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 多田 宗弘 / Munehiro Tada |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 伴野 直樹 / Naoki Banno |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 井口 憲幸 / Noriyuki Iguchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 波田 博光 / Hiromitsu Hada |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 阪本 利司 / Toshitsugu Sakamoto |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 宮村 信 / Makoto Miyamura |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 辻 幸秀 / Yukihide Tsuji |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 根橋 竜介 / Ryusuke Nebashi |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 森岡 あゆ香 / Ayuka Morioka |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 白 旭 / Xu Bai |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 杉林 直彦 / Tadahiko Sugibayashi |
| 第 12 著者 所属（和/英） | 日本電気株式会社(略称：NEC) NEC Corporation(略称：NEC) |
| 発表年月日 | 2017-04-21 |
| 資料番号 | ICD2017-13 |
| 巻番号（vol） | vol.117 |
| 号番号（no） | ICD-9 |
| ページ範囲 | pp.67-72(ICD), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-04-13 (ICD) |