| 講演名 | 2017-03-02 LSIマスクパターンに対する近似文字列照合に基づくホットスポット検出手法の高速化 玉川 宗磨(広島市大), 稲木 雅人(広島市大), 永山 忍(広島市大), 若林 真一(広島市大), |
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| 抄録(和) | 超微細LSI 製造においてはマスクパターン上にLSI の故障を引き起こすパターンであるホットスポットが存在する．ホットスポットは光学シミュレーションにより検出するが，長時間を要するため，ホットスポット候補の効率的検出手法の開発が望まれる．既存研究において，1次元パターンの照合手法である類似部分文字列検索を応用したホットスポット候補検出手法が提案されている．この手法では，一般的に用いられるテンプレートマッチング手法に比べ，柔軟な検出が期待できる一方，類似部分文字列検索で使用する編集距離行列の計算に時間を要する．そこで本研究では，事前計算結果のテーブル参照による要素計算と，複数要素の同時計算を組み合わせて，編集距離行列の計算を高速化した．既存手法との比較実験により，既存手法の約11分の1の計算時間の達成を確認した． |
| 抄録(英) | In nanoscale LSI fabrication, there exists a pattern on the mask pattern, called a hotspot, which leads to a failure. Hotspots are detected by optical simulation. However, it takes very long time. Therefore, some studies have been conducted to realize efficient hotspot candidate detection. In an existing study, a hotspot candidate detection method based on approximate string search, which is a one-dimensional pattern matching technique, was proposed. In this method, while more flexible hotspot detection compared to commonly used template matching can be expected, this method takes more time to calculate the edit distance matrix in approximate string search. In this study, we improved the calculation speed of the edit distance matrix, by a combination of a table reference-based calculation of an element of the matrix, and a parallel calculation of multiple elements. As a result of evaluation experiments, we confirmed that our method achieved about 1/11 calculation time, compared to the existing method. |
| キーワード(和) | ホットスポット / 光学シミュレーション / 類似部分文字列検索 |
| キーワード(英) | Hotspot / Optical simulation / Approximate string search |
| 資料番号 | VLD2016-112 |
| 発行日 | 2017-02-22 (VLD) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD |
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| 開催期間 | 2017/3/1(から3日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawa Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | システムオンシリコンを支える設計技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 竹中 崇(NEC) |
| 委員長氏名（英） | Takashi Takenana(NEC) |
| 副委員長氏名（和） | 越智 裕之(立命館大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroyuki Ochi(Ritsumeikan Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 福田 大輔(富士通研) / 永山 忍(広島市大) |
| 幹事氏名（英） | Daisuke Fukuda(Fujitsu Labs.) / Shinobu Nagayama(Hiroshima City Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | Parizy Matthieu(富士通研) |
| 幹事補佐氏名（英） | Parizy Matthieu(Fujitsu Labs.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on VLSI Design Technologies |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | LSIマスクパターンに対する近似文字列照合に基づくホットスポット検出手法の高速化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Acceleration of a Hotspot Detection Method Based on Approximate String Matching for LSI Mask Pattern Using Table Reference |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ホットスポット / Hotspot |
| キーワード(2)（和/英） | 光学シミュレーション / Optical simulation |
| キーワード(3)（和/英） | 類似部分文字列検索 / Approximate string search |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 玉川 宗磨 / Shuma Tamagawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 広島市立大学(略称：広島市大) Hiroshima City University(略称：Hirohima City Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 稲木 雅人 / Masato Inagi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 広島市立大学(略称：広島市大) Hiroshima City University(略称：Hirohima City Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 永山 忍 / Shinobu Nagayama |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 広島市立大学(略称：広島市大) Hiroshima City University(略称：Hirohima City Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 若林 真一 / Shin'ichi Wakabayashi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 広島市立大学(略称：広島市大) Hiroshima City University(略称：Hirohima City Univ.) |
| 発表年月日 | 2017-03-02 |
| 資料番号 | VLD2016-112 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | VLD-478 |
| ページ範囲 | pp.61-66(VLD), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-02-22 (VLD) |