| 講演名 | 2017-03-02 ［依頼講演］60GHz帯における空洞共振器法を用いた低誘電率フィルムの複素誘電率の高精度評価技術 清水 隆志(宇都宮大), 小島 駿佑(宇都宮大), 古神 義則(宇都宮大), |
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| 抄録(和) | 優れた特性を有する低誘電率フィルムのミリ波帯における複素誘電率の正確な値が回路設計者や材料開発者に求められている。しかしながら、ミリ波領域における誘電体フィルムの測定法はほとんど報告されていない。本報告では、新たに開発した60GHz帯空洞共振器を用いた誘電体フィルムの高精度評価手法を提案する。共振電磁界に悪影響を及ぼさない励振線挿入孔を有する60GHz帯空洞共振器を開発し、提案手法により6種類の誘電体フィルムの複素誘電率測定を行った。その測定結果および不確かさ解析結果により、提案共振器を用いた測定法が高精度かつ有効であることを実証した。さらに、本法により、試料厚さ10mまでの誘電体フィルムの複素誘電率測定が可能であることを示した。 |
| 抄録(英) | In order to realize modern millimeter wave applications, the accurate value of complex permittivity of low permittivity dielec-tric films with excellent characteristics are needed by circuit designers and material developers. However, there are few ac-curate measurement methods for dielectric films in the millimeter wave region. In this paper, an accurate evaluation tech-nique for thin dielectric films using a novel V band cavity in 60 GHz band is proposed on the basis of a cavity resonator method. The novel V band cavity with small excitation holes, which does not affect the resonant electromagnetic fields, is designed and fabricated. The six kinds of thin dielectric film were measured by the proposed technique using the novel cavi-ty. The measured results and the uncertainty analysis validate the accuracy and the usefulness of the proposed method. Moreover, it was verified that this technique can evaluate thin samples with thicknesses of 10 m or more. |
| キーワード(和) | 空洞共振器法 / 複素誘電率 / 低損失誘電体材料 / ミリ波 |
| キーワード(英) | Cavity resonator method / Complex permittivity / Low-loss dielectric materials / Millimeter-wave |
| 資料番号 | MW2016-200,ICD2016-130 |
| 発行日 | 2017-02-23 (MW, ICD) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW / ICD |
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| 開催期間 | 2017/3/2(から2日開催) |
| 開催地（和） | 岡山県立大学 |
| 開催地（英） | Okayama Prefectural Univ. |
| テーマ（和） | マイクロ波集積回路／マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | Microwave Integrated Circuit / Microwave Technologies |
| 委員長氏名（和） | 石川 容平(京大) / 藤島 実(広島大) |
| 委員長氏名（英） | Yohei Ishikawa(Kyoto Univ.) / Minoru Fujishima(Hiroshima Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 九鬼 孝夫(国士舘大) / 西川 健二郎(鹿児島大) / 田島 賢一(三菱電機) / 日高 秀人(ルネサス エレクトロニクス) |
| 副委員長氏名（英） | Takao Kuki(Kokushikan Univ.) / Kenjiro Nishikawa(Kagoshima Univ.) / Kenichi Tajima(Mitsubishi Electric) / Hideto Hidaka(Renesas) |
| 幹事氏名（和） | 佐藤 潤二(パナソニック) / 平野 拓一(東工大) / 吉田 毅(広島大) / 高宮 真(東大) |
| 幹事氏名（英） | Junji Sato(Panasonic) / Takuichi Hirano(Tokyo Inst. of Tech.) / Takeshi Yoshida(Hiroshima Univ.) / Makoto Takamiya(Univ. of Tokyo) |
| 幹事補佐氏名（和） | 關谷 尚人(山梨大) / 小野 哲(電通大) / 橋本 隆(パナソニック) / 夏井 雅典(東北大) / 伊藤 浩之(東工大) / 範 公可(電通大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Naoto Sekiya(Univ. of Yamanashi) / Satoshi Ono(Univ. of Electro-Comm.) / Takashi Hashimoto(Panasonic) / Masanori Natsui(Tohoku Univ.) / Hiroyuki Ito(Tokyo Inst. of Tech.) / Pham Konkuha(Univ. of Electro-Comm.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Microwaves / Technical Committee on Integrated Circuits and Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［依頼講演］60GHz帯における空洞共振器法を用いた低誘電率フィルムの複素誘電率の高精度評価技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Lecture] Accurate Evaluation Technique of Complex Permittivity for Low Permittivity Dielectric Films using a Cavity Resonator Method in 60 GHz band |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 空洞共振器法 / Cavity resonator method |
| キーワード(2)（和/英） | 複素誘電率 / Complex permittivity |
| キーワード(3)（和/英） | 低損失誘電体材料 / Low-loss dielectric materials |
| キーワード(4)（和/英） | ミリ波 / Millimeter-wave |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 清水 隆志 / Takashi Shimizu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学(略称：宇都宮大) Utsunomiya University(略称：Utsunomiya Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小島 駿佑 / Shunsuke Kojima |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学(略称：宇都宮大) Utsunomiya University(略称：Utsunomiya Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 古神 義則 / Yoshinori Kogami |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学(略称：宇都宮大) Utsunomiya University(略称：Utsunomiya Univ.) |
| 発表年月日 | 2017-03-02 |
| 資料番号 | MW2016-200,ICD2016-130 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | MW-486,ICD-487 |
| ページ範囲 | pp.67-72(MW), pp.67-72(ICD), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2017-02-23 (MW, ICD) |