| 講演名 | 2017-01-19 Au 2次元回折格子構造による光学素子の作製と光学特性評価 山田 泰士(三重大), 元垣内 敦司(三重大), 三宅 秀人(三重大), 平松 和政(三重大), |
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| 抄録(和) | Au 2次元回折格子構造を使った光学ミラーの実現のために、電子線リソグラフィ技術とリフトオフ工程を利用して作製し、光学特性評価を行った．その結果，リフトオフ工程を省略して作製できる2層型Au 2次元回折格子において，可視光全体で金とレジスト界面における吸収によって反射率の減少が見られた．また、1層型Au 2次元回折格子において、特定の波長域で反射率の極大ピークが見られ、狭帯域ミラーとしての利用が可能である波長域が存在することを明らかにした． |
| 抄録(英) | For the realization of the optical mirror, we fabricated the Au two-dimensional diffraction grating using an electron beam lithography technology and a liftoff process and evaluated an optical characterization. As the result, in the double-layer the Au two-dimensional diffraction grating which we omitted a liftoff process and could make, a decrease in reflectance was shown by the absorption in the Au and the resist interface in the whole visible light. On the other hand in the single-layer Au two-dimensional diffraction grating, a greatest peak of the reflectance was seen in specific wavelength area. From these results, it is found the wavelength range can be applied to optical mirror by this structure. |
| キーワード(和) | Au 2次元回折格子 / 光学ミラー / 反射率 / 透過率 |
| キーワード(英) | 2D Au grating / Optical Mirror / Reflectance / Transmittance |
| 資料番号 | PN2016-82,EMT2016-111,OPE2016-157,LQE2016-146,EST2016-121,MWP2016-95 |
| 発行日 | 2017-01-11 (PN, EMT, OPE, LQE, EST, MWP) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE / EST / LQE / EMT / PN / MWP / IEE-EMT |
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| 開催期間 | 2017/1/18(から2日開催) |
| 開催地（和） | 伊勢市観光文化会館 |
| 開催地（英） | Iseshi Kanko Bunka Kaikan |
| テーマ（和） | フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバーとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、マイクロ波・ミリ波フォトニクス、及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 小川 憲介(フジクラ) / 木村 秀明(NTT) / 野田 進(京大) / 佐藤 源之(東北大) / 大木 英司(電通大) / 門 勇一(京都工繊大) / 田中 雅宏(岐阜大) |
| 委員長氏名（英） | Kensuke Ogawa(Fujikura) / Hideaki Kimura(NTT) / Susumu Noda(Kyoto Univ.) / Motoyuki Sato(Tohoku Univ.) / Eiji Oki(Univ. of Electro-Comm.) / Yuichi Kado(Kyoto Inst. of Tech.) / Masahiro Tanaka(Gifu Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 加藤 和利(九大) / 大貫 進一郎(日大) / 平田 晃正(名工大) / 山本 剛之(富士通研) / 廣瀬 明(東大) / 長谷川 浩(名大) / 釣谷 剛宏(KDDI研) / 大越 春喜(古河電工) / 川西 哲也(早大) / 戸田 裕之(同志社大) |
| 副委員長氏名（英） | Kazutoshi Kato(Kyushu Univ.) / Shinichiro Ohnuki(Nihon Univ.) / Akimasa Hirata(Nagoya Inst. of Tech.) / Tsuyoshi Yamamoto(Fujitsu Labs.) / Akira Hirose(Univ. of Tokyo) / Hiroshi Hasegawa(Nagoya Univ.) / Takehiro Tsuritani(KDDI Labs.) / Haruki Ogoshi(Furukawa Electric) / Tetsuya Kawanishi(Waseda Univ.) / Hiroyuki Toda(Doshisha Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 石榑 崇明(慶大) / 柳生 栄治(三菱電機) / 辻 寧英(室蘭工大) / 大寺 康夫(東北大) / 藤原 直樹(NTT) / 片桐 崇史(東北大) / 西岡 泰弘(三菱電機) / 阪本 卓也(兵庫県立大) / 古川 英昭(NICT) / 廣田 悠介(阪大) / 米本 成人(電子航法研) / 枚田 明彦(千葉工大) / 後藤 啓次(防衛大学校) / 出口 博之(同志社大) |
| 幹事氏名（英） | Takaaki Ishigure(Keio Univ.) / Eiji Yagyu(Mitsubishi Electric) / Yasuhide Tsuji(Muroran Inst. of Tech.) / Yasuo Otera(Tohoku Univ.) / Naoki Fujiwara(NTT) / Takashi Katagiri(Tohoku Univ.) / Yasuhiro Nishioka(Mitsubishi Electric) / Takuya Sakamoto(Univ. of Hyogo) / Hideaki Furukawa(NICT) / Yusuke Hirota(Osaka Univ.) / Naruto Yonemoto(ENRI) / Akihiko Hirata(Chiba Inst. of Tech.) / Keiji Goto(NDA) / Hiroyuki DEGUCHI(Doshisha University) |
| 幹事補佐氏名（和） | 荒武 淳(NTT) / 中津原 克己(神奈川工科大) / 毛塚 敦(電子航法研) / 田口 健治(北見工大) / / 松岡 剛志(九州産大) / 中川 雅弘(NTT) / 亀谷 聡一朗(三菱電機) / 池田 研介(電中研) / 菅野 敦史(NICT) / 中 良弘(九州保健福祉大学) |
| 幹事補佐氏名（英） | Atsushi Aratake(NTT) / Katsumi Nakatsuhara(Kanagawa Inst. of Tech.) / Atsushi Kezuka(ENRI) / Kenji Taguchi(Kitami Inst. of Tech.) / / Tsuyoshi Matsuoka(Kyushu Sangyo Univ.) / Masahiro Nakagawa(NTT) / Soichiro Kametani(Mitsubishi Electric) / Kensuke Ikeda(CRIEPI) / Atsushi Kanno(NICT) / Yoshihiro NAKA(Kyushu University of Health and Welfare) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on OptoElectronics / Technical Committee on Electronics Simulation Technology / Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on Electromagnetic Theory / Technical Committee on Photonic Network / Technical Committee on Microwave and Millimeter-wave Photonics / Technical Meeting on Electromagnetic Theory |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Au 2次元回折格子構造による光学素子の作製と光学特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and optical characterization of the optical element by the Au two-dimensional diffraction grating structure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Au 2次元回折格子 / 2D Au grating |
| キーワード(2)（和/英） | 光学ミラー / Optical Mirror |
| キーワード(3)（和/英） | 反射率 / Reflectance |
| キーワード(4)（和/英） | 透過率 / Transmittance |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山田 泰士 / Taishi Yamada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三重大学(略称：三重大) Mie University(略称：Mie Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 元垣内 敦司 / Atsushi Motogaito |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三重大学(略称：三重大) Mie University(略称：Mie Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 三宅 秀人 / Hideto Miyake |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三重大学(略称：三重大) Mie University(略称：Mie Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 平松 和政 / Kazumasa Hiramatsu |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 三重大学(略称：三重大) Mie University(略称：Mie Univ.) |
| 発表年月日 | 2017-01-19 |
| 資料番号 | PN2016-82,EMT2016-111,OPE2016-157,LQE2016-146,EST2016-121,MWP2016-95 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | PN-386,EMT-387,OPE-388,LQE-389,EST-390,MWP-391 |
| ページ範囲 | pp.269-272(PN), pp.269-272(EMT), pp.269-272(OPE), pp.269-272(LQE), pp.269-272(EST), pp.269-272(MWP), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2017-01-11 (PN, EMT, OPE, LQE, EST, MWP) |