| 講演名 | 2016-11-17 X線透視観察装置における高白黒階調性能の効果について 芝野 照夫(三菱電機), |
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| 抄録(和) | 最近のＸ線透視観察装置においては、Ｘ線受光デバイスの性能が向上し、大画面化、高分解能化に加えて白黒階調データの多ビット化による高白黒階調性能化が実現している。この高白黒階調性能化は他の性能向上と比べて着目度は低いが、部品や材料のＸ線透視観察においてその能力を大きく向上させる効果をもたらす。本報告では、従来Ｘ線透視での観察が困難とされている半導体Ａｌワイヤ配線や積層セラミックコンデンサのクラック故障の観察について、白黒階調データが８ビットと１６ビットの装置を比較する形で観察結果を示し、高白黒階調化による観察性能の向上効果を説明する。さらに、樹脂成形部品において高白黒階調による樹脂流動の可視化についても報告する。 |
| 抄録(英) | In recent X-ray fluoroscopic inspection devices, the performances of the X-ray camera device are improved, they are bigger screen size, higher resolution, and higher gray-scale performance obtained by increasing the numerical number of bits of data. In present situation, this high gray-scale performance is low degree of attention compared with other performance improvement, but this performance brings about the effect of greatly improving its ability in the X-ray fluoroscopic observation of parts and materials. In this report, the observation of semiconductor Al wiring and crack failures of multilayer ceramic capacitor, they are difficult to observe in the conventional X-ray fluoroscopy inspection devices, are done in two X-ray fluoroscopic inspection devices that one is 8-bit gray-scale device and another one is 16-bit gray-scale device. From the comparison of the observation results, it is explained that the high gray-scale performance improves the observation performance. In addition, the visualization of resin flow in the resin molded parts obtained by the high gray-scale performance is also reported. |
| キーワード(和) | X線透視観察 / 高白黒階調 / Alワイヤボンディング / 積層セラミックコンデンサ / 樹脂流動観察 |
| キーワード(英) | X-ray fluoroscopy / high gray-scale / Al wire bonding / multilayer ceramic capacitor / resin flow observation |
| 資料番号 | R2016-53 |
| 発行日 | 2016-11-10 (R) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 2016/11/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | 大阪中央電気倶楽部 |
| 開催地（英） | Osaka Central Electric Club Bldg. |
| テーマ（和） | 半導体と電子デバイスの信頼性，信頼性一般（共催：日本信頼性学会関西支部） |
| テーマ（英） | Reliability for semiconductors and electronics devices, Overall reliability engineering (co-organized by Reliability Engineering Association of Japan Kansai Branch) |
| 委員長氏名（和） | 馬渡 宏泰(NTT) |
| 委員長氏名（英） | Hiroyasu Mawatari(NTT) |
| 副委員長氏名（和） | 弓削 哲史(防衛大) |
| 副委員長氏名（英） | Tetsushi Yuge(National Defense Academy) |
| 幹事氏名（和） | 安里 彰(富士通) / 岡村 寛之(広島大) |
| 幹事氏名（英） | Akira Asato(Fujitsu) / Hiroyuki Okamura(Hiroshima Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | マラット ザニケエフ(九工大) / 田村 信幸(法政大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Maratt Zanikef(Kyushu Inst. of Tech.) / Nobuyuki Tamura(Hosei Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Reliability |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | X線透視観察装置における高白黒階調性能の効果について |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The effect of high gray-scale resolution for the high observation performance in X-ray inspection systems |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | X線透視観察 / X-ray fluoroscopy |
| キーワード(2)（和/英） | 高白黒階調 / high gray-scale |
| キーワード(3)（和/英） | Alワイヤボンディング / Al wire bonding |
| キーワード(4)（和/英） | 積層セラミックコンデンサ / multilayer ceramic capacitor |
| キーワード(5)（和/英） | 樹脂流動観察 / resin flow observation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 芝野 照夫 / Teruo Shibano |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三菱電機株式会社(略称：三菱電機) Mitsubishi Electirc Corporation(略称：MELCO) |
| 発表年月日 | 2016-11-17 |
| 資料番号 | R2016-53 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | R-301 |
| ページ範囲 | pp.23-28(R), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2016-11-10 (R) |