| 講演名 | 2016-10-26 コロジオンに分散させた二酸化パラジウムを貴金属供給源とするナノ電子源の作製 浅井 泰尊(名城大), 熊谷 成輝(名城大), 村田 英一(名城大), 六田 英治(名城大), |
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| 抄録(和) | 貴金属で被覆されたタングステン(W)の原子スケールのピラミッドを，タングステン(W)針の先端に自発的に成長させることができる。今回は，コロジオンに分散させた二酸化パラジウム(PdO2)の粉末を多結晶W針後方に塗布することで貴金属供給源とし，ナノピラミッド成長を試みた。超高真空中での1000 K の加熱の後，FIMは，15量体の先端と単原子鎖の尾根を持つナノピラミッドの形成を示した。しかし，さらに加熱を続けても単原子先端は得られず，むしろ広いテラスの先端と数原子の幅を持った稜線を持った構造に変化してしまった。これは，W針後方に塗布するPdO2の量やコロジオンに分散させる濃度といった条件を特定できておらず，W針先端に過剰な量のPdが供給されてしまったためだと考えている。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | 微小電子源 / 表面拡散 / 電界電子放出 / 電界放射顕微鏡 / 電界イオン顕微鏡 / タングステン / パラジウム |
| キーワード(英) | nano emitter / surface diffusion / field emission / field emission microscopy / field ion microscopy / tungsten / palladium |
| 資料番号 | ED2016-53 |
| 発行日 | 2016-10-18 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2016/10/25(から2日開催) |
| 開催地（和） | 三重大学 新産業創成研究拠点（旧VBL） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 鈴木 寿一(北陸先端大) / 新井 学(新日本無線) |
| 幹事氏名（英） | Toshikazu Suzuki(JAIST) / Manabu Arai(New JRC) |
| 幹事補佐氏名（和） | 東脇 正高(NICT) / 大石 敏之(佐賀大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masataka Higashiwaki(NICT) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | コロジオンに分散させた二酸化パラジウムを貴金属供給源とするナノ電子源の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of nano-emitter use of palladium dioxide dispersed in collodion |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 微小電子源 / nano emitter |
| キーワード(2)（和/英） | 表面拡散 / surface diffusion |
| キーワード(3)（和/英） | 電界電子放出 / field emission |
| キーワード(4)（和/英） | 電界放射顕微鏡 / field emission microscopy |
| キーワード(5)（和/英） | 電界イオン顕微鏡 / field ion microscopy |
| キーワード(6)（和/英） | タングステン / tungsten |
| キーワード(7)（和/英） | パラジウム / palladium |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 浅井 泰尊 / Hirotaka Asai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名城大学(略称：名城大) Meijo Univercity(略称：Meijo Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 熊谷 成輝 / Shigeki Kumagai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名城大学(略称：名城大) Meijo Univercity(略称：Meijo Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 村田 英一 / Hidekazu Murata |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名城大学(略称：名城大) Meijo Univercity(略称：Meijo Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 六田 英治 / Eiji Rokuta |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名城大学(略称：名城大) Meijo Univercity(略称：Meijo Univ.) |
| 発表年月日 | 2016-10-26 |
| 資料番号 | ED2016-53 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | ED-268 |
| ページ範囲 | pp.47-50(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-10-18 (ED) |