| 講演名 | 2016-10-26 Ⅲ族酸化物で修飾したW(100)面からの電子放射 川久保 貴史(香川高専), 中根 英章(室蘭工大), |
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| 抄録(和) | 高融点金属の一つであるタングステンは，電子源の材料として用いられている．W(100)面は仕事関数が4.6eVと比較的高いが，表面をジルコニウムと酸素で修飾するとその仕事関数が2.7eV程度まで選択的に低下することが知られている．この現象を用いたZrO/W(100)電子源は測長SEM等の電子ビーム装置に広く用いられている．また，W(100)面の仕事関数低下現象は，ジルコニウム以外の?族や?族元素と酸素による修飾でも起こることが報告されており，ZrO/W(100)よりも高輝度な電子源を実現するための材料探索が行われている．本研究では，スカンジウム，プラセオジム，ネオジムの各酸化物で修飾したタングステン電子源を作製し，その仕事関数を電界放射によって測定したので報告する． |
| 抄録(英) | Tungsten which is one of high melting metal is employed as the material of the electron source. The work function of tungsten (100) surface is 4.6 eV. Although the work function is high value relatively, the value can be reduced to 2.7 eV selectively by the surface modification. ZrO/W (100) electron source using this phenomenon is used widely for electron beam system, e.g. critical dimension SEM. Also the phenomenon is occurred by modification of oxygen and 3 group element or 4 group element instead of zirconium and oxygen. In this research, we measured the work function of tungsten surface modified by scandium oxide, praseodymium oxide, and neodymium oxide by using field emission microscopy. |
| キーワード(和) | Sc酸化物 / Pr酸化物 / Nd酸化物 / 仕事関数 / 電界放射 |
| キーワード(英) | Scandium oxide / Praseodymium oxide / Neodymium oxide / Work function / Field emission |
| 資料番号 | ED2016-52 |
| 発行日 | 2016-10-18 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2016/10/25(から2日開催) |
| 開催地（和） | 三重大学 新産業創成研究拠点（旧VBL） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 鈴木 寿一(北陸先端大) / 新井 学(新日本無線) |
| 幹事氏名（英） | Toshikazu Suzuki(JAIST) / Manabu Arai(New JRC) |
| 幹事補佐氏名（和） | 東脇 正高(NICT) / 大石 敏之(佐賀大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masataka Higashiwaki(NICT) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Ⅲ族酸化物で修飾したW(100)面からの電子放射 |
| サブタイトル（和） | Sc酸化物, Pr酸化物, Nd酸化物による仕事関数低下現象 |
| タイトル（英） | Electron Emission from W(100) Surface modified by Group 3 Elements |
| サブタイトル（和） | Work Function Reduction by Sc Oxide, Pr Oxide and Nd Oxide |
| キーワード(1)（和/英） | Sc酸化物 / Scandium oxide |
| キーワード(2)（和/英） | Pr酸化物 / Praseodymium oxide |
| キーワード(3)（和/英） | Nd酸化物 / Neodymium oxide |
| キーワード(4)（和/英） | 仕事関数 / Work function |
| キーワード(5)（和/英） | 電界放射 / Field emission |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 川久保 貴史 / Takashi Kawakubo |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 香川高等専門学校詫間キャンパス(略称：香川高専) National Institute of Technology, Kagawa College(略称：NIT Kagawa) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中根 英章 / Hideaki Nakane |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 室蘭工業大学(略称：室蘭工大) Muroran Institute of Technology(略称：Muroran Inst. of Tech.) |
| 発表年月日 | 2016-10-26 |
| 資料番号 | ED2016-52 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | ED-268 |
| ページ範囲 | pp.41-46(ED), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2016-10-18 (ED) |