| 講演名 | 2016-10-25 ミニマルファブを活用した微小電子源の作製 長尾 昌善(産総研), 村上 勝久(産総研), 辰巳 憲之(産総研), クンプアン ソマワン(産総研), 原 史朗(産総研), 後藤 康仁(京大), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2016-50 |
| 発行日 | 2016-10-18 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
|---|---|
| 開催期間 | 2016/10/25(から2日開催) |
| 開催地（和） | 三重大学 新産業創成研究拠点（旧VBL） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 鈴木 寿一(北陸先端大) / 新井 学(新日本無線) |
| 幹事氏名（英） | Toshikazu Suzuki(JAIST) / Manabu Arai(New JRC) |
| 幹事補佐氏名（和） | 東脇 正高(NICT) / 大石 敏之(佐賀大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masataka Higashiwaki(NICT) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ミニマルファブを活用した微小電子源の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Vacuum Nanoelectronics Devices using Minimal Fab System |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所(略称：産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 村上 勝久 / Katsuhisa Murakami |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所(略称：産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 辰巳 憲之 / Noriyuki Tatsumi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所(略称：産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：AIST) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | クンプアン ソマワン / Sommawan Khumpuang |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所(略称：産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：AIST) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 原 史朗 / Shiro Hara |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所(略称：産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：AIST) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 後藤 康仁 / Yasuhito Gotoh |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 京都大学(略称：京大) Kyoto University(略称：Kyoto Univ.) |
| 発表年月日 | 2016-10-25 |
| 資料番号 | ED2016-50 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | ED-268 |
| ページ範囲 | pp.31-36(ED), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2016-10-18 (ED) |