| 講演名 | 2016-08-09 マルチモーダルセンサに向けたSU-8支持層を有する半導体ガスセンサ用マイクロホットプレート 岩田 達哉(豊橋技科大), Carine Wei Soo Ping(豊橋技科大), 松田 恭輔(豊橋技科大), 高橋 一浩(豊橋技科大), 澤田 和明(豊橋技科大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2016-38 |
| 発行日 | 2016-08-02 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2016/8/9(から2日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | センサ，MEMS，一般 |
| テーマ（英） | Sensor, MEMS, general |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 鈴木 寿一(北陸先端大) / 新井 学(新日本無線) |
| 幹事氏名（英） | Toshikazu Suzuki(JAIST) / Manabu Arai(New JRC) |
| 幹事補佐氏名（和） | 東脇 正高(NICT) / 大石 敏之(佐賀大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masataka Higashiwaki(NICT) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | マルチモーダルセンサに向けたSU-8支持層を有する半導体ガスセンサ用マイクロホットプレート |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Micro-hotplates with SU-8 suspension for multimodal sensors |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岩田 達哉 / Tatsuya Iwata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tech.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | Carine Wei Soo Ping / Carine Wei Soo Ping |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tech.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松田 恭輔 / Kyosuke Matsuda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tech.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tech.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 澤田 和明 / Kazuaki Sawada |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tech.) |
| 発表年月日 | 2016-08-09 |
| 資料番号 | ED2016-38 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | ED-181 |
| ページ範囲 | pp.41-45(ED), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2016-08-02 (ED) |