| 講演名 | 2016-08-25 シリコン基板上への16ch(4chx4)集積レーザアレイ光源の実装 西沢 元亨(光電子融合基盤技研), 羽鳥 伸明(光電子融合基盤技研), 田中 有(光電子融合基盤技研), 栗原 充(光電子融合基盤技研), 蔵田 和彦(光電子融合基盤技研), |
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| 抄録(和) | 将来の高性能サーバやスパコンへ適用する、Siフォトニクス技術を利用した広帯域な光I/Oの実現へ向けて、Siチップ上への集積光源実装技術の開発を行っている。今回、ファウンドリプロセスにより作製したSiチップに、複数の半導体レーザをフリップチップ実装することにより、16チャンネルのハイブリッド集積光源実装技術を開発し、一例として16波長の発振を確認した。また、16チャンネル同時発振時のLD素子の冷却を考慮した樹脂封止構造を考案・試作した結果、全16チャンネルでLDからSiチップ上のSi光導波路への光結合が実現、さらに封止に用いた光学樹脂はCPUパッケージへ実装する際に必要となるリフロー・洗浄耐性を有することを確認した。 |
| 抄録(英) | We are developing packaging technology of hybrid integrated light sources on Silicon platform for realization high capacity optical I/O with Si photonics technology for high-end server and next-generation supercomputers. 16-channel hybrid integrated light sources were developed by flip-chip-mounting laser diode (LD) arrays on Si platform fabricated at a foundry. 16-wavelength lasing was demonstrated as an example. On the other hand, we designed and fabricated the plastic packaging structure considering a cooling of LD arrays. We have realized sufficient optical couplings between LD and Si waveguides at all channels. Furthermore, we have found that the optical resin used for optical coupling had enough resistance to both solder reflow and flux washing when an optical I/O was mounted on a CPU package. |
| キーワード(和) | シリコンフォトニクス / 光インターコネクト / 半導体レーザ / フリップチップ実装 / 集積光源 / 樹脂封止 / リフロー |
| キーワード(英) | silicon photonics / optical interconnect / laser diode / flip-chip maounting / integrated light source / plastic packaging / reflow treatment |
| 資料番号 | R2016-20,EMD2016-24,CPM2016-33,OPE2016-54,LQE2016-29 |
| 発行日 | 2016-08-18 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE / OPE / EMD / R / CPM |
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| 開催期間 | 2016/8/25(から2日開催) |
| 開催地（和） | 函館ロワジールホテル |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 光部品・電子デバイス実装・信頼性，及び一般（OECC報告） |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 野田 進(京大) / 小川 憲介(フジクラ) / 阿部 宜輝(NTT) / 馬渡 宏泰(NTT) / 野毛 悟(沼津高専) |
| 委員長氏名（英） | Susumu Noda(Kyoto Univ.) / Kensuke Ogawa(Fujikura) / Yoshiteru Abe(NTT) / Hiroyasu Mawatari(NTT) / Satoru Noge(Numazu National College of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 山本 剛之(富士通研) / 加藤 和利(九大) / / 弓削 哲史(防衛大) / 廣瀬 文彦(山形大) |
| 副委員長氏名（英） | Tsuyoshi Yamamoto(Fujitsu Labs.) / Kazutoshi Kato(Kyushu Univ.) / / Tetsushi Yuge(National Defense Academy) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 藤原 直樹(NTT) / 片桐 崇史(東北大) / 石榑 崇明(慶大) / 柳生 栄治(三菱電機) / 澤田 滋(住友電装) / 鈴木 健司(富士電機機器制御) / 安里 彰(富士通) / 岡村 寛之(広島大) / 小舘 淳一(NTT) / 岩田 展幸(日大) |
| 幹事氏名（英） | Naoki Fujiwara(NTT) / Takashi Katagiri(Tohoku Univ.) / Takaaki Ishigure(Keio Univ.) / Eiji Yagyu(Mitsubishi Electric) / Shigeru Sawada(Sumitomo Denso) / Kenji Suzuki(Fujielectric) / Akira Asato(Fujitsu) / Hiroyuki Okamura(Hiroshima Univ.) / Junichi Kodate(NTT) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | / 荒武 淳(NTT) / 中津原 克己(神奈川工科大) / 萓野 良樹(電通大) / 林 優一(東北学院大) / マラット ザニケエフ(九工大) / 田村 信幸(法政大) / 坂本 尊(NTT) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | / Atsushi Aratake(NTT) / Katsumi Nakatsuhara(Kanagawa Inst. of Tech.) / Yoshiki Kayano(Univ. of Electro-Comm.) / Yuichi Hayashi(Tohoku Gakuin Univ.) / Maratt Zanikef(Kyushu Inst. of Tech.) / Nobuyuki Tamura(Hosei Univ.) / Takashi Sakamoto(NTT) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on Optoelectronics / Technical Committee on Electromechanical Devices / Technical Committee on Reliability / Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | シリコン基板上への16ch(4chx4)集積レーザアレイ光源の実装 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Packaging of 16ch (4chx4) Integrated Light Sources with Laser Diode Arrays on Silicon Substrate. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / silicon photonics |
| キーワード(2)（和/英） | 光インターコネクト / optical interconnect |
| キーワード(3)（和/英） | 半導体レーザ / laser diode |
| キーワード(4)（和/英） | フリップチップ実装 / flip-chip maounting |
| キーワード(5)（和/英） | 集積光源 / integrated light source |
| キーワード(6)（和/英） | 樹脂封止 / plastic packaging |
| キーワード(7)（和/英） | リフロー / reflow treatment |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 西沢 元亨 / Motoyuki Nishizawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 技術研究組合 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 羽鳥 伸明 / Nobuaki Hatori |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 技術研究組合 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 田中 有 / Yu Tanaka |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 技術研究組合 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 栗原 充 / Mitsuru Kurihara |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 技術研究組合 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 蔵田 和彦 / Kazuhiko Kurata |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 技術研究組合 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 発表年月日 | 2016-08-25 |
| 資料番号 | R2016-20,EMD2016-24,CPM2016-33,OPE2016-54,LQE2016-29 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | R-191,EMD-192,CPM-193,OPE-194,LQE-195 |
| ページ範囲 | pp.5-8(R), pp.5-8(EMD), pp.5-8(CPM), pp.5-8(OPE), pp.5-8(LQE), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-08-18 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |