| 講演名 | 2016-08-01 ［招待講演］高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発 高橋 広樹(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 田中 浩司(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 小田 真弘(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 安藤 三善(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 新添 真人(パナソニック・タワージャズセミコンダクター), 河合 真一(PSCS), 浅野 拓也(PSCS), 吉田 貢(PSCS), 山田 徹(PSCS), |
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| 抄録(和) | 高い近赤外（NIR）感度と高い変調伝達関数（MTF）を同時に実現する為、2つのフォトダイオードを積層した新たな画素構造（Stacked Deep Photodiode : SDP）を開発した。 SDP構造の5.4μm 画素は、隣接する画素と完全に分離された10µm の深さを有するフォトダイオードにより、850nmの波長において、量子効率 (QE) 30% 、ナイキスト周波数においてMTF 40% を達成した。さらに、斜め入射光に対して最適化する事が可能なShifted-SDPは、入射角25 ºで850nmの波長においてクロストークを1.5%に抑制する事ができた。 |
| 抄録(英) | Novel pixel structure with Stacked Deep Photodiode (SDP) has been newly developed for both high Near Infra-Red (NIR) sensitivity and high Modulation Transfer Function (MTF). SDP with 5.4µm pixel pitch has achieved Quantum Efficiency (QE) of 30% and MTF of 40% at Nyquist frequency at 850nm wavelength by stacking photodiode completely separated from neighboring pixels. Furthermore, Shifted SDP which can be optimized for oblique incident light has suppressed crosstalk as low as 1.5% at 25 º at 850 nm wavelength. |
| キーワード(和) | NIR / MTF / 積層 / イメージセンサー / クロストーク |
| キーワード(英) | NIR / MTF / Stack / Image sensor / Crosstalk |
| 資料番号 | SDM2016-51,ICD2016-19 |
| 発行日 | 2016-07-25 (SDM, ICD) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD / SDM / ITE-IST |
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| 開催期間 | 2016/8/1(から3日開催) |
| 開催地（和） | 中央電気倶楽部 |
| 開催地（英） | Central Electric Club |
| テーマ（和） | アナログ、アナデジ混載、RF及びセンサインタフェース回路、低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） | Analog, Mixed Analog and Digital, RF, and Sensor Interface, Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications |
| 委員長氏名（和） | 藤島 実(広島大) / 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) / 須川 成利(東北大) |
| 委員長氏名（英） | Minoru Fujishima(Hiroshima Univ.) / Tatsuya Kunikiyo(Renesas) / Shigetoshi Sugawa(Tohoku Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 日高 秀人(ルネサス エレクトロニクス) / 品田 高宏(東北大) / 浜本 隆之(東京理科大) / 大竹 浩(NHK) |
| 副委員長氏名（英） | Hideto Hidaka(Renesas) / Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) / Takayuki Hamamoto(東京理科大) / Hiroshi Ohtake(NHK) |
| 幹事氏名（和） | 吉田 毅(広島大) / 高宮 真(東大) / 黒田 理人(東北大) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
| 幹事氏名（英） | Takeshi Yoshida(Hiroshima Univ.) / Makoto Takamiya(Univ. of Tokyo) / Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
| 幹事補佐氏名（和） | 橋本 隆(パナソニック) / 夏井 雅典(東北大) / 伊藤 浩之(東工大) / 範 公可(電通大) / 池田 浩也(静岡大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takashi Hashimoto(Panasonic) / Masanori Natsui(Tohoku Univ.) / Hiroyuki Ito(Tokyo Inst. of Tech.) / Pham Konkuha(Univ. of Electro-Comm.) / Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Integrated Circuits and Devices / Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Group on Information Sensing Technologies |
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| 本文の言語 | ENG-JTITLE |
| タイトル（和） | ［招待講演］高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Novel Pixel Structure with Stacked Deep Photodiode to Achieve High NIR Sensitivity and High MTF |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | NIR / NIR |
| キーワード(2)（和/英） | MTF / MTF |
| キーワード(3)（和/英） | 積層 / Stack |
| キーワード(4)（和/英） | イメージセンサー / Image sensor |
| キーワード(5)（和/英） | クロストーク / Crosstalk |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高橋 広樹 / Hiroki Takahashi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd.(略称：TPSCo) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田中 浩司 / Hiroshi Tanaka |
| 第 2 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd.(略称：TPSCo) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 小田 真弘 / Masahiro Oda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd.(略称：TPSCo) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 安藤 三善 / Mitsuyoshi Ando |
| 第 4 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd.(略称：TPSCo) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 新添 真人 / Naoto Niisoe |
| 第 5 著者 所属（和/英） | パナソニック・タワージャズセミコンダクター株式会社(略称：パナソニック・タワージャズセミコンダクター) TowerJazz Panasonic Semiconductor Co., Ltd.(略称：TPSCo) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 河合 真一 / Shinichi Kawai |
| 第 6 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：PSCS) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：PSCS) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 浅野 拓也 / Takuya Asano |
| 第 7 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：PSCS) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：PSCS) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 吉田 貢 / Mitsugu Yoshita |
| 第 8 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：PSCS) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：PSCS) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 山田 徹 / Tohru Yamada |
| 第 9 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：PSCS) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：PSCS) |
| 発表年月日 | 2016-08-01 |
| 資料番号 | SDM2016-51,ICD2016-19 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | SDM-172,ICD-173 |
| ページ範囲 | pp.41-44(SDM), pp.41-44(ICD), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-07-25 (SDM, ICD) |