| 講演名 | 2016-07-23 原料交互供給法による酸化スズナノワイヤーの成長と形状制御 寺迫 智昭(愛媛大), 矢木 正和(香川高専), |
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| 抄録(和) | スズ(Sn)粉末と水(H2O)を原料，Au 薄膜を触媒とする大気圧 CVD 法において，Sn と H2O を時間的に分離して供給する原料交互供給法による酸化スズ(SnO2)ナノワイヤー(NWs)の気相-液相-固相(VLS)成長の可能性が検討された．X 線回折測定及び走査型電子顕微鏡による表面形態観察から SnO2 NWs の成長が確認された．また原料交互供給技術が成長温度の上昇に伴う直径の増大の抑制に有効であることが明らかになった．またサイクル数が300～700 の範囲ではサイクル数に依らず，平均直径はほぼ一定であった． SnO2 NWs は酸素空孔もしくは格子間スズ原子に起因するオレンジ色発光を示し，その強度は成長温度とともに増加した． |
| 抄録(英) | V apor-liquid-solid (VLS) growth of tin dioxide (SnO2) nanowires (NWs) on the c-plane sapphire substrate coated with the 30 nm thick Au catalytic film was performed by atmospheric-pressure CVD utilizing the alternate source supply (ASS) of tin (Sn) and water (H2O). X-ray diffraction measurements and scanning electron microscope (SEM) observations revealed the successful growth of SnO2 NWs by the alternate source supply technique. It was also confirmed that the ASS technique is effective for suppressing the enhancement of the NWs average diameter due to the increase in growth temperature (Tg). In the cycle number range fro m 300 to 700, the NWs average diameter was found to be independent of cycle number. The SnO2 NWs exhibited a broad orange emission associated with O vacancies and/or Sn interstitial atoms and its intensity became larger with increasing Tg. |
| キーワード(和) | 酸化スズ / 大気圧CVD法 / 気相－液相－固相成長 / 走査型電子顕微鏡 / 表面モフォロジー |
| キーワード(英) | SnO2 / Atmospheric-pressure CVD / Vapor-liquid-solid growth / Scanning electron microscope / Surface morphology |
| 資料番号 | CPM2016-29 |
| 発行日 | 2016-07-15 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2016/7/22(から2日開催) |
| 開催地（和） | 愛媛大学工学部本館3階会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料、一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 野毛 悟(沼津高専) |
| 委員長氏名（英） | Satoru Noge(Numazu National College of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 廣瀬 文彦(山形大) |
| 副委員長氏名（英） | Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 小舘 淳一(NTT) / 岩田 展幸(日大) |
| 幹事氏名（英） | Junichi Kodate(NTT) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 坂本 尊(NTT) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takashi Sakamoto(NTT) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 原料交互供給法による酸化スズナノワイヤーの成長と形状制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Growth and Shape Controllability of SnO2 Nanowires by Alternate Source Supply |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化スズ / SnO2 |
| キーワード(2)（和/英） | 大気圧CVD法 / Atmospheric-pressure CVD |
| キーワード(3)（和/英） | 気相－液相－固相成長 / Vapor-liquid-solid growth |
| キーワード(4)（和/英） | 走査型電子顕微鏡 / Scanning electron microscope |
| キーワード(5)（和/英） | 表面モフォロジー / Surface morphology |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 寺迫 智昭 / Tomoaki Terasako |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 愛媛大学(略称：愛媛大) Ehime University(略称：Ehime Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 矢木 正和 / Masakazu Yagi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 香川高等専門学校(略称：香川高専) National Institute of Technology, Kagawa College(略称：Natl. Inst. Technol, Kagawa Coll.) |
| 発表年月日 | 2016-07-23 |
| 資料番号 | CPM2016-29 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | CPM-157 |
| ページ範囲 | pp.21-26(CPM), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2016-07-15 (CPM) |