| 講演名 | 2016-04-08 スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT 原田 大成(琉球大), 我喜屋 風太(琉球大), 安次富 卓哉(琉球大), 岡田 竜弥(琉球大), 野口 隆(琉球大), 野田 勘治(ギガフォトン), 諏訪 輝(ギガフォトン), 池上 浩(九大), 奥山 哲雄(東洋紡), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2016-10,OME2016-10 |
| 発行日 | 2016-04-01 (SDM, OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / OME |
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| 開催期間 | 2016/4/8(から2日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県立博物館・美術館 博物館講座室 |
| 開催地（英） | Okinawa Prefectural Museum & Art Museum |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices, etc |
| 委員長氏名（和） | 大野 裕三(筑波大) / 松田 直樹(産総研) |
| 委員長氏名（英） | Yuzou Oono(Univ. of Tsukuba) / Naoki Matsuda(AIST) |
| 副委員長氏名（和） | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) / 森 竜雄(愛知工大) |
| 副委員長氏名（英） | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) / Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 黒田 理人(東北大) / 鴻野 晃洋(NTT) / 染谷 隆夫(東大) |
| 幹事氏名（英） | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Akihiro Kohno(NTT) / Takao Someya(Univ. of Tokyo) |
| 幹事補佐氏名（和） | 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) / 梶井 博武(阪大) / 田口 大(東工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Tadashi Yamaguchi(Renesas) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) / Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | スパッタSi膜へのマルチショットELAとメタルソース・ドレイン構造TFT |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Multi-shots ELA of sputtered Si film and TFT with metal source-drain structure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 原田 大成 / Taisei Harada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) University of the Ryukyus(略称：Univ. of the Ryukyus) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 我喜屋 風太 / Futa Gakiya |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) University of the Ryukyus(略称：Univ. of the Ryukyus) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 安次富 卓哉 / Takuya Ashitomi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) University of the Ryukyus(略称：Univ. of the Ryukyus) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) University of the Ryukyus(略称：Univ. of the Ryukyus) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 野口 隆 / Takashi Noguchi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) University of the Ryukyus(略称：Univ. of the Ryukyus) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 野田 勘治 / Kanji Noda |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 株式会社ギガフォトン(略称：ギガフォトン) GiGAPHOTON Incorporated(略称：GiGAPHOTON Inc.) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 諏訪 輝 / Akira Suwa |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 株式会社ギガフォトン(略称：ギガフォトン) GiGAPHOTON Incorporated(略称：GiGAPHOTON Inc.) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 池上 浩 / Hiroshi Ikenoue |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyusyu University(略称：Kyusyu Univ.) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 奥山 哲雄 / Tetsuo Okuyama |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 株式会社東洋紡(略称：東洋紡) TOYOBO Company, Limited(略称：TOYOBO Company, Limited) |
| 発表年月日 | 2016-04-08 |
| 資料番号 | SDM2016-10,OME2016-10 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | SDM-1,OME-2 |
| ページ範囲 | pp.39-41(SDM), pp.39-41(OME), |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2016-04-01 (SDM, OME) |