| 講演名 | 2016-04-21 ナノ微粒子用原子層堆積装置の試作と評価 菊地 航(山形大), 鹿又 健作(山形大), 三浦 正範(山形大), 有馬 ボシル アハンマド(山形大), 久保田 繁(山形大), 廣瀬 文彦(山形大), |
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| 抄録(和) | 粒子表面の改質として原子層堆積法(Atomic layer deposition : ALD)が注目されている。我々は、tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT)とプラズマ励起水蒸気を用いて、ナノ微粒子表面に酸化チタン(TiO2)膜を室温形成する原子層堆積法を開発した。微粒子に対しALDを行うにあたり、粒子同士の凝集を防ぐ機構として撹拌板を反応室内に設置した。Si基板上で行った成膜実験では、完全酸化状態のTiO2の成膜が確認され、1サイクルあたりの成長膜厚は0.25 nm/cycleと測定された。100 nm金ナノ粒子を対象とした成膜実験では、本研究で開発した撹拌板による粒子の撹拌効果及び、ナノ粒子表面でのTiO2の成膜を確認した。 |
| 抄録(英) | Metal oxide modification on nanoparticles has attracted attention to achieve new surface functions on them. Room-temperature atomic layer deposition (ALD) of titanium dioxide (TiO2) on Au nanoparticles was developed using tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT) and plasma-excited water vaper. To avoid the aggregation of nanoparticles during ALD, a rotating scraper as a mixer was was placed in the reaction chamber. Complete oxidation state of TiO2 formed on the Si substrate was confirmed. The growth rate was measured to be 0.25 nm/cycle at room temperature. TiO2 film formed by ALD was covered on the Au nanoparticles with a diameter of 100nm. |
| キーワード(和) | 原子層堆積法 / ナノ粒子 / TiO2 / プラズマ励起水蒸気 |
| キーワード(英) | ALD / nanoparticle / TiO2 / Plasma-excited water vapor |
| 資料番号 | ED2016-5 |
| 発行日 | 2016-04-14 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2016/4/21(から2日開催) |
| 開催地（和） | 山形大学工学部 有機EL研究センター 4F大会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 有機デバイス、酸化物デバイス、一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 松永 高治(NEC) / 鈴木 寿一(北陸先端大) |
| 幹事氏名（英） | Koji Matsunaga(NEC) / Toshikazu Suzuki(JAIST) |
| 幹事補佐氏名（和） | 新井 学(新日本無線) / 東脇 正高(NICT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Manabu Arai(New JRC) / Masataka Higashiwaki(NICT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ナノ微粒子用原子層堆積装置の試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Room-temperature atomic layer deposition of TiO2 on nanoparticles |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 原子層堆積法 / ALD |
| キーワード(2)（和/英） | ナノ粒子 / nanoparticle |
| キーワード(3)（和/英） | TiO2 / TiO2 |
| キーワード(4)（和/英） | プラズマ励起水蒸気 / Plasma-excited water vapor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 菊地 航 / Ko Kikuchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 三浦 正範 / Masanori Miura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 有馬 ボシル アハンマド / Bashir Ahmmad Arima |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 久保田 繁 / Shigeru Kubota |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ) |
| 発表年月日 | 2016-04-21 |
| 資料番号 | ED2016-5 |
| 巻番号（vol） | vol.116 |
| 号番号（no） | ED-14 |
| ページ範囲 | pp.17-20(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-04-14 (ED) |