講演名 2016-02-19
Si上Ge層を用いた近赤外受光器の高性能化
石川 靖彦(東大), 宮坂 祐司(東大), 伊藤 和貴(東大), 永友 翔(東大), 和田 一実(東大),
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抄録(和) 超高真空化学気相堆積法によりSi上へエピタキシャル成長したGe層を用い、シリコンフォトニクス 用近赤外受光器を作製した。電流–電圧特性および受光スペクトル特性を報告するとともに、高性能化のための結晶 成長プロセスを議論する。
抄録(英) Near-infrared photodiodes for Si photonics are fabricated using Ge epitaxial layers on Si grown byultrahigh-vacuum chemical vapor deposition. Current-voltage characteristics and spectral responsivity are reported. Growth processes are discussed to realize higher-performance photodiodes.
キーワード(和) シリコンフォトニクス / ゲルマニウム / エピタキシャル成長 / 近赤外受光器
キーワード(英) Si Photonics / Germanium / Epitaxial Growth / Near-infrared Photodetectors
資料番号 OCS2015-107,OFT2015-62,OPE2015-227
発行日 2016-02-11 (OCS, OFT, OPE)

研究会情報
研究会 OFT / OCS / OPE
開催期間 2016/2/18(から2日開催)
開催地(和) 沖縄大学
開催地(英) Okinawa Univ.
テーマ(和) 光波センシング、光波制御・検出、光計測、ニューロ、光ファイバ(ホーリーファイバ、マルチコアファイバ等含む)伝送とファイバ光増幅・接続技術、 光ファイバ計測応用、通信用光ファイバ、光ファイバコード・ケーブル、機能性光ファイバ、空間分割多重(SDM)光ファイバ技術、光接続・コネクタ・配線技術、光インターコネクション、光線路保守監視・試験技術、光ファイバ測定技術、一般
テーマ(英)
委員長氏名(和) 成瀬 央(三重大) / 福知 清(NEC) / 植之原 裕行(東工大)
委員長氏名(英) Hiroshi Naruse(Mie Univ.) / Kiyoshi Fukuchi(NEC) / Hiroyuki Uenohara(Tokyo Inst. of Tech.)
副委員長氏名(和) / 平野 章(NTT) / 小川 憲介(フジクラ)
副委員長氏名(英) / Akira Hirano(NTT) / Kensuke Ogawa(Fujikura)
幹事氏名(和) 山本 文彦(NTT) / 村田 暁(フジクラ) / 市井 健太郎(フジクラ) / 小林 孝行(NTT) / 中川 剛二(富士通研) / 鈴木 賢哉(NTT)
幹事氏名(英) Fumihiko Yamamoto(NTT) / Akira Murata(Fujikura) / Kentaro Ichii(Fujikura) / Takayuki Kobayashi(NTT) / Goji Nakagawa(Fujitsu Labs.) / Kenya Suzuki(NTT)
幹事補佐氏名(和) 小林 照武(フジクラ) / 廣田 栄伸(NTT) / / 石榑 崇明(慶大) / 柳生 栄治(三菱電機)
幹事補佐氏名(英) Terutake Kobayashi(Fujikura) / Hidenobu Hirota(NTT) / / Takaaki Ishigure(Keio Univ.) / Eiji Yagyu(Mitsubishi Electric)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Optical Fiber Technology / Technical Committee on Optical Communication Systems / Technical Committee on Optoelectronics
本文の言語 JPN
タイトル(和) Si上Ge層を用いた近赤外受光器の高性能化
サブタイトル(和)
タイトル(英) High-performance Ge-on-Si Near-infrared Photodiodes
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) シリコンフォトニクス / Si Photonics
キーワード(2)(和/英) ゲルマニウム / Germanium
キーワード(3)(和/英) エピタキシャル成長 / Epitaxial Growth
キーワード(4)(和/英) 近赤外受光器 / Near-infrared Photodetectors
第 1 著者 氏名(和/英) 石川 靖彦 / Yasuhiko Ishikawa
第 1 著者 所属(和/英) 東京大学(略称:東大)
The University of Tokyo(略称:Univ. Tokyo)
第 2 著者 氏名(和/英) 宮坂 祐司 / Yuji Miyasaka
第 2 著者 所属(和/英) 東京大学(略称:東大)
The University of Tokyo(略称:Univ. Tokyo)
第 3 著者 氏名(和/英) 伊藤 和貴 / Kazuki Ito
第 3 著者 所属(和/英) 東京大学(略称:東大)
The University of Tokyo(略称:Univ. Tokyo)
第 4 著者 氏名(和/英) 永友 翔 / Sho Nagatomo
第 4 著者 所属(和/英) 東京大学(略称:東大)
The University of Tokyo(略称:Univ. Tokyo)
第 5 著者 氏名(和/英) 和田 一実 / Kazumi Wada
第 5 著者 所属(和/英) 東京大学(略称:東大)
The University of Tokyo(略称:Univ. Tokyo)
発表年月日 2016-02-19
資料番号 OCS2015-107,OFT2015-62,OPE2015-227
巻番号(vol) vol.115
号番号(no) OCS-451,OFT-452,OPE-453
ページ範囲 pp.39-42(OCS), pp.39-42(OFT), pp.65-68(OPE),
ページ数 4
発行日 2016-02-11 (OCS, OFT, OPE)