| 講演名 | 2016-03-04 HEMTと空洞共振器を用いたΔΣ型マイクロフォンセンサ 山岡 昴博(富山大), 藤野 瞬也(富山大), 山岸 凌(富山大), 山川 雅暉(富山大), 島田 知輝(富山大), 森 雅之(富山大), 前澤 宏一(富山大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2015-129,SDM2015-136 |
| 発行日 | 2016-02-25 (ED, SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED / SDM |
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| 開催期間 | 2016/3/3(から2日開催) |
| 開催地（和） | 北海道大学百年記念会館 |
| 開催地（英） | Centennial Hall, Hokkaido Univ. |
| テーマ（和） | 機能ナノデバイスおよび関連技術 |
| テーマ（英） | Functional Nanodevices and Related Technologies |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) / 大野 裕三(筑波大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) / Yuzou Oono(Univ. of Tsukuba) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) / 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) / Tatsuya Kunikiyo(Renesas) |
| 幹事氏名（和） | 松永 高治(NEC) / 鈴木 寿一(北陸先端大) / 黒田 理人(東北大) |
| 幹事氏名（英） | Koji Matsunaga(NEC) / Toshikazu Suzuki(JAIST) / Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 新井 学(新日本無線) / 東脇 正高(NICT) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
| 幹事補佐氏名（英） | Manabu Arai(New JRC) / Masataka Higashiwaki(NICT) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device / Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | HEMTと空洞共振器を用いたΔΣ型マイクロフォンセンサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Delta Sigma Modulation Microphone Sensors Using a HEMT and a Cavity Resonator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山岡 昴博 / Takahiro Yamaoka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤野 瞬也 / Shunya Fujino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山岸 凌 / Ryo Yamagishi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山川 雅暉 / Masaki Yamakawa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 島田 知輝 / Tomoki Shimada |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 森 雅之 / Masayuki Mori |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 前澤 宏一 / Koichi Maezawa |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 発表年月日 | 2016-03-04 |
| 資料番号 | ED2015-129,SDM2015-136 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | ED-469,SDM-470 |
| ページ範囲 | pp.45-48(ED), pp.45-48(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-02-25 (ED, SDM) |