| 講演名 | 2016-01-28 面出射光源のための波長・偏波無依存なSi集積45度ミラーの研究 乗木 暁博(光電子融合基盤技研/産総研), 天野 建(光電子融合基盤技研/産総研), 志村 大輔(光電子融合基盤技研), 太縄 陽介(光電子融合基盤技研), 佐々木 浩紀(光電子融合基盤技研), 山田 浩治(光電子融合基盤技研/産総研), 西 英隆(光電子融合基盤技研), 土澤 泰(光電子融合基盤技研), 浮田 茂也(光電子融合基盤技研), 佐々木 美紀子(光電子融合基盤技研), 森 雅彦(光電子融合基盤技研/産総研), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 1.3μm帯のシングルモード面出射光源を実現するため、ダイシング技術をベースとした45度ミラーのSi集積化プロセスを開発した。この技術を用いてSi基板上のSiOx導波路に45度ミラーを集積し、45度ミラーから出力される光ビームの品質を遠視野像 (FFP) の測定により評価した。その結果、45度ミラーの加工プロセスは光ビームの品質に影響を与えず、ミラーから良好なシングルモードビームが出力されていることを確認した。45度ミラー起因の過剰損失を評価した結果、1260~1360nmの波長帯域において0.6dB以下であり、低損失・広帯域であった。また、過剰損の偏波依存性も0.6dB以下であり、両偏波で垂直光出力が可能であることを確認した。 |
| 抄録(英) | To realize a surface emitting light source of 1.3μm-wavelength band, we developed a Si integration process of 45 degree mirrors based on dicing technique. We integrated the 45 degree mirrors into SiOx optical waveguides on a Si substrate. Far field pattern (FFP) of optical output from the mirrors were measured to evaluate its beam quality, and we confirmed that high quality single mode beams can be obtained. Optical loss penalty of the integrated mirrors was also evaluated and it was less than 0.6 dB over a wavelength range of 1260-1360 nm. Polarization depended loss penalty was also less than 0.6 dB. |
| キーワード(和) | 面出射光源 / 45度ミラー / 広帯域 / 偏波無依存 / シリコンフォトニクス / ダイシング |
| キーワード(英) | Surface Emitting Light Source / 45 degree Mirror / Broadband / Polarization-independent / Si Photonics / Dicing |
| 資料番号 | PN2015-71,EMT2015-122,OPE2015-184,LQE2015-171,EST2015-128,MWP2015-97 |
| 発行日 | 2016-01-21 (PN, EMT, OPE, LQE, EST, MWP) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE / EST / OPE / EMT / PN / MWP / IEE-EMT |
|---|---|
| 開催期間 | 2016/1/28(から2日開催) |
| 開催地（和） | 神戸市産業振興センター |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバーとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、マイクロ波・ミリ波フォトニクス、及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 小路 元(住友電工) / 柏 達也(北見工大) / 植之原 裕行(東工大) / 佐藤 源之(東北大) / 大木 英司(電通大) / 門 勇一(京都工繊大) / 田中 雅宏(岐阜大) |
| 委員長氏名（英） | Hajime Shoji(Sumitomo Electric Industries) / Tatsuya Kashiwa(Kitami Inst. of Tech.) / Hiroyuki Uenohara(Tokyo Inst. of Tech.) / Motoyuki Sato(Tohoku Univ.) / Eiji Oki(Univ. of Electro-Comm.) / Yuichi Kado(Kyoto Inst. of Tech.) / Masahiro Tanaka(Gifu Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 野田 進(京大) / 木村 秀明(NTT) / 平田 晃正(名工大) / 大貫 進一郎(日大) / 小川 憲介(フジクラ) / 廣瀬 明(東大) / 長谷川 浩(名大) / 釣谷 剛宏(KDDI研) / 大越 春喜(古河電工) / 川西 哲也(NICT) / 戸田 裕之(同志社大) |
| 副委員長氏名（英） | Susumu Noda(Kyoto Univ.) / Hideaki Kimura(NTT) / Akimasa Hirata(Nagoya Inst. of Tech.) / Shinichiro Ohnuki(Nihon Univ.) / Kensuke Ogawa(Fujikura) / Akira Hirose(Univ. of Tokyo) / Hiroshi Hasegawa(Nagoya Univ.) / Takehiro Tsuritani(KDDI Labs.) / Haruki Ogoshi(Furukawa Electric) / Tetsuya Kawanishi(NICT) / Hiroyuki Toda(Doshisha Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 梅沢 俊匡(NICT) / 藤原 直樹(NTT) / 平野 拓一(東工大) / 辻 寧英(室蘭工大) / 中川 剛二(富士通研) / 鈴木 賢哉(NTT) / 佐藤 亮一(新潟大) / 西岡 泰弘(三菱電機) / 古川 英昭(NICT) / 廣田 悠介(阪大) / 米本 成人(電子航法研) / 枚田 明彦(NTT) / 後藤 啓次(防衛大) / 出口 博之(同志社大) |
| 幹事氏名（英） | Toshimasa Umezawa(NICT) / Naoki Fujiwara(NTT) / Takuichi Hirano(Tokyo Inst. of Tech.) / Yasuhide Tsuji(Muroran Inst. of Tech.) / Goji Nakagawa(Fujitsu Labs.) / Kenya Suzuki(NTT) / Ryoichi Sato(Niigata Univ.) / Yasuhiro Nishioka(Mitsubishi Electric) / Hideaki Furukawa(NICT) / Yusuke Hirota(Osaka Univ.) / Naruto Yonemoto(ENRI) / Akihiko Hirata(NTT) / Keiji Goto(NDA) / Hiroyuki Deguchi(Doshisha Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | / 毛塚 敦(電子航法研) / 田口 健治(北見工大) / 石榑 崇明(慶大) / 柳生 栄治(三菱電機) / 高橋 一徳(東北大) / 中川 雅弘(NTT) / 池田 研介(電中研) / 菅野 敦史(NICT) / 中 良弘(九州保健福祉大) |
| 幹事補佐氏名（英） | / Atsushi Kezuka(ENRI) / Kenji Taguchi(Kitami Inst. of Tech.) / Takaaki Ishigure(Keio Univ.) / Eiji Yagyu(Mitsubishi Electric) / Kazunori Takahashi(Tohoku Univ.) / Masahiro Nakagawa(NTT) / Kensuke Ikeda(CRIEPI) / Atsushi Kanno(NICT) / Yoshihiro Naka(KUHW) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on Electronics Simulation Technology / Technical Committee on Optoelectronics / Technical Committee on Electromagnetic Theory / Technical Committee on Photonic Network / Technical Committee on Microwave and Millimeter-wave Photonics / Technical Meeting on Electromagnetic Theory |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 面出射光源のための波長・偏波無依存なSi集積45度ミラーの研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Si Integrated Wavelength/Polarization-Independent 45 Degree Mirror for Surface Emitting Light Source |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 面出射光源 / Surface Emitting Light Source |
| キーワード(2)（和/英） | 45度ミラー / 45 degree Mirror |
| キーワード(3)（和/英） | 広帯域 / Broadband |
| キーワード(4)（和/英） | 偏波無依存 / Polarization-independent |
| キーワード(5)（和/英） | シリコンフォトニクス / Si Photonics |
| キーワード(6)（和/英） | ダイシング / Dicing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 乗木 暁博 / Akihiro Noriki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所(略称：光電子融合基盤技研/産総研) Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology(略称：PETRA/AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 天野 建 / Takeru Amano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所(略称：光電子融合基盤技研/産総研) Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology(略称：PETRA/AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 志村 大輔 / Daisuke Shimura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 太縄 陽介 / Yosuke Onawa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 佐々木 浩紀 / Hironori Sasaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 山田 浩治 / Koji Yamada |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所(略称：光電子融合基盤技研/産総研) Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology(略称：PETRA/AIST) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 西 英隆 / Hidetaka Nishi |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 土澤 泰 / Tai Tsuchizawa |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 浮田 茂也 / Shigenari Ukita |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 佐々木 美紀子 / Mikiko Sasaki |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所(略称：光電子融合基盤技研) Photonics Electronics Technology Research Association(略称：PETRA) |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 森 雅彦 / Masahiko Mori |
| 第 11 著者 所属（和/英） | 光電子融合基盤技術研究所/産業技術総合研究所(略称：光電子融合基盤技研/産総研) Photonics Electronics Technology Research Association/Advanced Industrial Science and Technology(略称：PETRA/AIST) |
| 発表年月日 | 2016-01-28 |
| 資料番号 | PN2015-71,EMT2015-122,OPE2015-184,LQE2015-171,EST2015-128,MWP2015-97 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | PN-430,EMT-431,OPE-432,LQE-433,EST-434,MWP-435 |
| ページ範囲 | pp.225-228(PN), pp.225-228(EMT), pp.225-228(OPE), pp.225-228(LQE), pp.225-228(EST), pp.225-228(MWP), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2016-01-21 (PN, EMT, OPE, LQE, EST, MWP) |