| 講演名 | 2015-10-30 高精度ガス制御器を用いたAl2O3のALD成膜におけるプロセス温度の検討 杉田 久哉(東北大), 幸田 安真(東北大), 諏訪 智之(東北大), 黒田 理人(東北大), 後藤 哲也(東北大), 石井 秀和(東北大), 山下 哲(フジキン), 寺本 章伸(東北大), 須川 成利(東北大), 大見 忠弘(東北大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2015-83 |
| 発行日 | 2015-10-22 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2015/10/29(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大学未来研 |
| 開催地（英） | Niche, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | プロセス科学と新プロセス技術 |
| テーマ（英） | Process Science and New Process Technology |
| 委員長氏名（和） | 大野 裕三(筑波大) |
| 委員長氏名（英） | Yuzou Oono(Univ. of Tsukuba) |
| 副委員長氏名（和） | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) |
| 副委員長氏名（英） | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) |
| 幹事氏名（和） | 黒田 理人(東北大) |
| 幹事氏名（英） | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
| 幹事補佐氏名（英） | Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高精度ガス制御器を用いたAl2O3のALD成膜におけるプロセス温度の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study of process temperature of Al2O3 atomic layer deposition using high accuracy process gasses supply controller |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 杉田 久哉 / Hisaya Sugita |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 幸田 安真 / Yasumasa Koda |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 諏訪 智之 / Tomoyuki Suwa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 黒田 理人 / Rihito Kuroda |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 後藤 哲也 / Tetsuya Goto |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 石井 秀和 / Hidekazu Ishii |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 山下 哲 / Satoru Yamashita |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 株式会社フジキン(略称：フジキン) Fujikin Incorporated(略称：Fujikin) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 寺本 章伸 / Akinobu Teramoto |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 須川 成利 / Shigetoshi Sugawa |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 大見 忠弘 / Tadahiro Ohmi |
| 第 10 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 発表年月日 | 2015-10-30 |
| 資料番号 | SDM2015-83 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | SDM-280 |
| ページ範囲 | pp.63-68(SDM), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-10-22 (SDM) |