| 講演名 | 2015-11-07 金属酸化物薄膜堆積のための触媒反応生成高エネルギーH2Oビーム 寺口 祐介(長岡技科大), 田島 諒一(長岡技科大), 中村 友紀(長岡技科大), 高橋 一匡(長岡技科大), 玉山 泰宏(長岡技科大), 安井 寛治(長岡技科大), |
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| 抄録(和) | 白金ナノ粒子表面での水素と酸素の燃焼反応を利用して高エネルギーH2Oを生成しラバールノズルによりビーム状に噴出，気相中でアルキル亜鉛ガスと反応させ高エネルギーZnOプリカーサを生成後，金属酸化物薄膜を作製するCVD装置のノズル構造について検討した．圧縮性流れの理論に基づきラバールノズルの末広開口角50o, 60o, 90oについてH2Oビームのエネルギー状態を計算したところ，すべての開口角でノズル出口でのマッハ数は5を超え極超音速流が作られていることがわかった．またスケーリングパラメータを算出しそれをもとに平均クラスターサイズを求めたところクラスターサイズは1以下であり本CVD法においてH2Oビーム中にクラスターは殆ど形成されていないと推察された．さらに末広開口角50o, 60o, 90oのラバールノズルを用いて堆積したZnO膜についてX線回折測定とHall効果測定により結晶配向性と電気的特性を調べた． |
| 抄録(英) | De Laval nozzle structure in a CVD apparatus using a high-energy H2O produced by a Pt-catalyzed H2 and O2 reaction, meant for the growth of metal oxide thin films, was studied based on theory of compressive gas flow. Mach numbers, reduced scaling parameters and mean cluster sizes of the H2O beams generated at divergent aperture angles between 50° and 90° were theoretically evaluated. The reduced scaling parameters of the H2O beams for all angles were calculated to be less than 200 and the mean cluster sizes were estimated to be less than one irrespective of the divergent aperture angle of the nozzle, suggesting that clusters are not formed in the H2O beam in our apparatus. The crystallinity and electrical properties of the zinc oxide films grown using various divergent aperture angles were also evaluated. |
| キーワード(和) | 触媒反応 / 高エネルギーH2Oビーム / ラバールノズル / クラスターサイズ / ZnO薄膜 |
| キーワード(英) | catalytic reaction / high-temperature H2O / de Laval nozzle / cluster size / zinc oxide |
| 資料番号 | CPM2015-100 |
| 発行日 | 2015-10-30 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2015/11/6(から2日開催) |
| 開催地（和） | まちなかキャンパス長岡 |
| 開催地（英） | Machinaka Campus Nagaoka |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料，一般 |
| テーマ（英） | Thin film processing, etc. |
| 委員長氏名（和） | 野毛 悟(沼津高専) |
| 委員長氏名（英） | Satoru Noge(Numazu National College of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 廣瀬 文彦(山形大) |
| 副委員長氏名（英） | Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 小舘 淳一(NTT) / 岩田 展幸(日大) |
| 幹事氏名（英） | Junichi Kodate(NTT) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 坂本 尊(NTT) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takashi Sakamoto(NTT) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 金属酸化物薄膜堆積のための触媒反応生成高エネルギーH2Oビーム |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-energy H2O beam produced by a Pt-catalyzed H2 - O2 reaction for the metal oxide film deposition |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 触媒反応 / catalytic reaction |
| キーワード(2)（和/英） | 高エネルギーH2Oビーム / high-temperature H2O |
| キーワード(3)（和/英） | ラバールノズル / de Laval nozzle |
| キーワード(4)（和/英） | クラスターサイズ / cluster size |
| キーワード(5)（和/英） | ZnO薄膜 / zinc oxide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 寺口 祐介 / Yusuke Teraguchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田島 諒一 / Ryoichi Tajima |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中村 友紀 / Tomoki Nakamura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高橋 一匡 / Kazumasa Takahashi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 玉山 泰宏 / Yasuhiro Tamayama |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 安井 寛治 / Kanji Yasui |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol.) |
| 発表年月日 | 2015-11-07 |
| 資料番号 | CPM2015-100 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | CPM-297 |
| ページ範囲 | pp.75-79(CPM), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-10-30 (CPM) |