| 講演名 | 2015-09-03 共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性 柳谷 隆彦(早大), 市橋 隼人(同志社大), 鈴木 雅視(早大), 高柳 真司(同志社大), 松川 真美(同志社大), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | US2015-52 |
| 発行日 | 2015-08-27 (US) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
|---|---|
| 開催期間 | 2015/9/3(から2日開催) |
| 開催地（和） | 第一滝本館 （北海道登別） |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 一般 |
| テーマ（英） | General |
| 委員長氏名（和） | 伊藤 洋一(日大) |
| 委員長氏名（英） | Yoichi Itoh(Nihon Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 松川 真美(同志社大) / 遠藤 信行(神奈川大) |
| 副委員長氏名（英） | Mami Matsukawa(Doshisha Univ.) / Nobuyuki Endo(Kanagawa Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 野村 英之(電通大) / 畑中 信一(電通大) |
| 幹事氏名（英） | Hideyuki Nomura(Univ. of Electro-Comm.) / Shin-ichi Hatanaka(Univ. of Electro-Comm.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 長谷川 英之(富山大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hideyuki Hasegawa(Univ. of Toyama) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Ultrasonics |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Elastic constant tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63) determined by resonant method and Brillouin scattering method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 市橋 隼人 / Hayato Ichihashi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 同志社大学(略称：同志社大) Doshisha University(略称：Doshisha Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 同志社大学(略称：同志社大) Doshisha University(略称：Doshisha Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 松川 真美 / Mami Matsukawa |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 同志社大学(略称：同志社大) Doshisha University(略称：Doshisha Univ.) |
| 発表年月日 | 2015-09-03 |
| 資料番号 | US2015-52 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | US-207 |
| ページ範囲 | pp.37-42(US), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-08-27 (US) |