| 講演名 | 2015-08-27 ［招待講演］Ga溶融バンプを用いたFluidic Self Assemblyによる異種材料集積化技術 前澤 宏一(富山大), 中野 純(富山大), 柴田 知明(富山大), 森田 弘樹(富山大), 坂本 宙(富山大), 山田 悟史(富山大), 森 雅之(富山大), |
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| 抄録(和) | 異種材料デバイス集積技術は，これまで蓄積されてきた半導体ナノプロセス技術を新しいアプリケーション分野に展開するために重要な技術である．この最も有効な技術の一つにFluidic Self-Assembly (FSA) 技術がある．FSA 技術は，前もって作製した微小デバイスブロックを液体中に置いたホスト基板上に散布，配置していく技術である．非常に自由度の高い異種材料デバイス集積技術であり，他の技術に対して重要な利点がある．我々は，最近，溶液中で溶融したGa の表面張力を用いたFSA 技術を提案した．本稿では，我々の結果を中心にFSA 技術の特徴，その応用例とGa バンプの信頼性について述べる．また，今後の有望なアプリケーションとして，マイクロ波/ミリ波集積回路への応用について議論した． |
| 抄録(英) | Fluidic Self Assembly (FSA) is a most promising heterogeneous integration technique leading to new applications of semiconductor devices. The FSA is a highly exible technique, where scattered small device blocks are arranged into the recesses on the host substrate placed in fluid. Recently, we proposed a novele FSA employing capillary force of the molten Ga bumps. In this paper, we describe the features, applications, and the reliablity of the FSA based on our research. Moreover, application of this technique to micro/millimeter wave integrated circuits is discussed. |
| キーワード(和) | 異種材料集積 / InP / InGaAs / uidic self assembly / 共鳴トンネルダイオード |
| キーワード(英) | heterogeneous integration / InP / InGaAs / uidic self assembly / resonant tunneling diode |
| 資料番号 | R2015-28,EMD2015-36,CPM2015-52,OPE2015-67,LQE2015-36 |
| 発行日 | 2015-08-20 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM / OPE / LQE / R / EMD |
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| 開催期間 | 2015/8/27(から2日開催) |
| 開催地（和） | 青森県観光物産館アスパム |
| 開催地（英） | Aomori-Bussankan-Asupamu |
| テーマ（和） | 光部品・電子デバイス実装技術・信頼性、及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 野毛 悟(沼津高専) / 植之原 裕行(東工大) / 小路 元(住友電工) / 馬渡 宏泰(NTT) / 関川 純哉(静岡大) |
| 委員長氏名（英） | Satoru Noge(Numazu National College of Tech.) / Hiroyuki Uenohara(Tokyo Inst. of Tech.) / Hajime Shoji(Sumitomo Electric Industries) / Hiroyasu Mawatari(NTT) / Junya Sekikawa(Shizuoka Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 廣瀬 文彦(山形大) / 小川 憲介(フジクラ) / 野田 進(京大) / 弓削 哲史(防衛大) / 阿部 宜輝(NTT) |
| 副委員長氏名（英） | Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Kensuke Ogawa(Fujikura) / Susumu Noda(Kyoto Univ.) / Tetsushi Yuge(National Defense Academy) / Yoshiteru Abe(NTT) |
| 幹事氏名（和） | 小舘 淳一(NTT) / 岩田 展幸(日大) / 中川 剛二(富士通研) / 鈴木 賢哉(NTT) / 梅沢 俊匡(NICT) / 藤原 直樹(NTT) / 安里 彰(富士通) / 岡村 寛之(広島大) / 澤田 滋(住友電装) / 鈴木 健司(富士電機機器制御) |
| 幹事氏名（英） | Junichi Kodate(NTT) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Goji Nakagawa(Fujitsu Labs.) / Kenya Suzuki(NTT) / Toshimasa Umezawa(NICT) / Naoki Fujiwara(NTT) / Akira Asato(Fujitsu) / Hiroyuki Okamura(Hiroshima Univ.) / Shigeru Sawada(Sumitomo Denso) / Kenji Suzuki(Fujielectric) |
| 幹事補佐氏名（和） | 坂本 尊(NTT) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 石榑 崇明(慶大) / 柳生 栄治(三菱電機) / / マラット ザニケエフ(九工大) / 田村 信幸(法政大) / 和田 真一(TMCシステム) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takashi Sakamoto(NTT) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Takaaki Ishigure(Keio Univ.) / Eiji Yagyu(Mitsubishi Electric) / / Maratt Zanikef(Kyushu Inst. of Tech.) / Nobuyuki Tamura(Hosei Univ.) / Shinichi Wada(TMC system) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Optoelectronics / Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on Reliability / Technical Committee on Electromechanical Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］Ga溶融バンプを用いたFluidic Self Assemblyによる異種材料集積化技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Heterogeneous Integration Technology Using Fluidic Self Assembly Based on Ga Molten Bumps |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 異種材料集積 / heterogeneous integration |
| キーワード(2)（和/英） | InP / InP |
| キーワード(3)（和/英） | InGaAs / InGaAs |
| キーワード(4)（和/英） | uidic self assembly / uidic self assembly |
| キーワード(5)（和/英） | 共鳴トンネルダイオード / resonant tunneling diode |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 前澤 宏一 / Koichi Maezawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中野 純 / Jun Nakano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 柴田 知明 / Tomoaki Shibata |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 森田 弘樹 / Hiroki Morita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 坂本 宙 / Hiroshi Sakamoto |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 山田 悟史 / Satoshi Yamada |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 森 雅之 / Masayuki Mori |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 発表年月日 | 2015-08-27 |
| 資料番号 | R2015-28,EMD2015-36,CPM2015-52,OPE2015-67,LQE2015-36 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | R-194,EMD-195,CPM-196,OPE-197,LQE-198 |
| ページ範囲 | pp.27-32(R), pp.27-32(EMD), pp.27-32(CPM), pp.27-32(OPE), pp.27-32(LQE), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-08-20 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |