| 講演名 | 2015-08-24 ［招待講演］フィラメント制御による28nm混載メモリ向けReRAM開発 早川 幸夫(パナソニック), 姫野 敦史(パナソニック), 安原 隆太郎(パナソニック), 藤井 覚(パナソニック), 伊藤 理(パナソニック), 川島 良男(パナソニック), 池田 雄一郎(パナソニック), 川原 昭文(パナソニック), 河合 賢(パナソニック), 魏 志強(パナソニック), 村岡 俊作(パナソニック), 島川 一彦(パナソニック), 三河 巧(パナソニック), 米田 慎一(パナソニック), |
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| 抄録(和) | ２８ｎｍ混載メモリ向けとして、耐熱性に優れ、フィラメント制御が可能なＴａＯｘ ＲｅＲＡＭ素子を提案する。その為に、我々は、新たな素子形成技術（低ダメージのエッチング技術，素子端面の酸化技術，素子のカプセル化技術）を開発し、フィラメント位置の制御を実現した。また、２８ｎｍサイズの素子において、良好な信頼性が得られる事を確認した。更に、４０ｎｍ世代の配線ルールで２Ｍビット容量のメモリアレイを試作し、１０万回の書換え特性と１０年間のデータ保持特性（８５℃）について検証を行った。 |
| 抄録(英) | For 28-nm embedded application, we have proposed a TaOx-based ReRAM with precise filament positioning and high thermal stability. The cell was realized using several newly-developed process technologies and cell structures: low-damage etching, cell side oxidation and encapsulated cell structure. As a result, we succeeded for the first time in forming a filament at the cell center. In addition, we confirmed the feasibility of 20-nm cell size. Excellent reliability was achieved in 2-Mbit 40-nm ReRAM: 100k cycles and 10 years’ retention at 85 ˚C was demonstrated. |
| キーワード(和) | ＲｅＲＡＭ / ＴａＯｘ / フィラメント制御 / 混載メモリ |
| キーワード(英) | ReRAM / TaOx / Filament control / Embedded memory |
| 資料番号 | SDM2015-57,ICD2015-26 |
| 発行日 | 2015-08-17 (SDM, ICD) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / ICD |
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| 開催期間 | 2015/8/24(から2日開催) |
| 開催地（和） | 熊本市 |
| 開催地（英） | Kumamoto City |
| テーマ（和） | 低電圧/低消費電力技術、新デバイス・回路とその応用 |
| テーマ（英） | Low voltage/low power techniques, novel devices, circuits, and applications |
| 委員長氏名（和） | 大野 裕三(筑波大) / 藤島 実(広島大) |
| 委員長氏名（英） | Yuzou Oono(Univ. of Tsukuba) / Minoru Fujishima(Hiroshima Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) / 日高 秀人(ルネサス エレクトロニクス) |
| 副委員長氏名（英） | Tatsuya Kunikiyo(Renesas) / Hideto Hidaka(Renesas) |
| 幹事氏名（和） | 黒田 理人(東北大) / 吉田 毅(広島大) |
| 幹事氏名（英） | Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) / Takeshi Yoshida(Hiroshima Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) / 高宮 真(東大) / 岩崎 裕江(NTT) / 橋本 隆(パナソニック) / 伊藤 浩之(東工大) / 範 公可(電通大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Tadashi Yamaguchi(Renesas) / Makoto Takamiya(Univ. of Tokyo) / Hiroe Iwasaki(NTT) / Takashi Hashimoto(Panasonic) / Hiroyuki Ito(Tokyo Inst. of Tech.) / Pham Konkuha(Univ. of Electro-Comm.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Integrated Circuits and Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］フィラメント制御による28nm混載メモリ向けReRAM開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Highly Reliable TaOx ReRAM with Centralized Filament for 28-nm Embedded Application |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ＲｅＲＡＭ / ReRAM |
| キーワード(2)（和/英） | ＴａＯｘ / TaOx |
| キーワード(3)（和/英） | フィラメント制御 / Filament control |
| キーワード(4)（和/英） | 混載メモリ / Embedded memory |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 早川 幸夫 / Yukio Hayakawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 姫野 敦史 / Atsushi Himeno |
| 第 2 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 安原 隆太郎 / Ryutaro Yasuhara |
| 第 3 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 藤井 覚 / Satoru Fujii |
| 第 4 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 伊藤 理 / Satoru Ito |
| 第 5 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 川島 良男 / Yoshio Kawashima |
| 第 6 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 池田 雄一郎 / Yuuichirou Ikeda |
| 第 7 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 川原 昭文 / Akifumi Kawahara |
| 第 8 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 河合 賢 / Ken Kawai |
| 第 9 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | 魏 志強 / Zhiqiang Wei |
| 第 10 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 村岡 俊作 / Shunsaku Muraoka |
| 第 11 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 12 著者 氏名（和/英） | 島川 一彦 / Kazuhiko Shimakawa |
| 第 12 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 13 著者 氏名（和/英） | 三河 巧 / Takumi Mikawa |
| 第 13 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 第 14 著者 氏名（和/英） | 米田 慎一 / Shinichi Yoneda |
| 第 14 著者 所属（和/英） | パナソニック セミコンダクターソリューションズ株式会社(略称：パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称：Panasonic) |
| 発表年月日 | 2015-08-24 |
| 資料番号 | SDM2015-57,ICD2015-26 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | SDM-190,ICD-191 |
| ページ範囲 | pp.1-5(SDM), pp.1-5(ICD), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-08-17 (SDM, ICD) |