| 講演名 | 2015-07-25 共鳴トンネル素子を用いたΔΣ型歪みセンサ 前澤 宏一(富山大), 角谷 祐一郎(富山大), 中山 大周(富山大), 田近 拓巳(富山大), 森 雅之(富山大), |
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| 抄録(和) | 共鳴トンネルダイオード(RTD)の微分負性抵抗は発振器の基盤であり，これを用いてすでに1THzを越える基本波発振が報告されている．RTD発振器は．THz信号源だけではなく，センサーへの応用も有望である．ここでは，カンチレバー上に装荷したRTD発振器の歪による周波数変調を利用した歪センサーについて述べた．これは，周波数変調(FM)中間信号を利用した$DeltaSigma$アナログ・デジタル変換器の原理を応用し，高ダイナミックレンジ，広帯域なセンサーを得ようというものである．本稿では，これを実現するための回路設計，プロセスについて述べ，また，$DeltaSigma$変調方式の最も重要な特性であるノイズシェーピング特性の実験的検証結果について述べた． |
| 抄録(英) | A negative differential resistance (NDR) of resonant tunneling diodes (RTDs) is a basis for high frequency oscillators. Over 1 THz oscillations have been already reported with the RTD oscillators. Besides THz signal sources. the RTD oscillatiors can be a basis for high performance sensors. In this paper we discuss a strain sensor based on the frequency modulation of a RTD oscillator fabricated on a cantilever. Employing frequency $DeltaSigma$ modulation technique, ultra high dynamic range and wide frequency range are expected for this implementation. We discuss the design and fabrication process of the RTD strain sensors, and demonstrate the noise shaping behavior, which is a most important feature of the $DeltaSigma$ modulation. |
| キーワード(和) | 共鳴トンネルダイオード / 発振器 / ピエゾ効果 / $DeltaSigma$変調 |
| キーワード(英) | resonant tunneling diode / oscillator / piezo effect / $DeltaSigma$ modulation |
| 資料番号 | ED2015-46 |
| 発行日 | 2015-07-17 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2015/7/24(から2日開催) |
| 開催地（和） | ITビジネスプラザ武蔵研修室1(金沢市武蔵町) |
| 開催地（英） | IT Business Plaza Musashi 5F |
| テーマ（和） | 半導体プロセス・デバイス(表面、界面、信頼性)、一般 |
| テーマ（英） | Semiconductor Processes and Devices |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 松永 高治(NEC) / 鈴木 寿一(北陸先端大) |
| 幹事氏名（英） | Koji Matsunaga(NEC) / Toshikazu Suzuki(JAIST) |
| 幹事補佐氏名（和） | 新井 学(新日本無線) / 東脇 正高(NICT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Manabu Arai(New JRC) / Masataka Higashiwaki(NICT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 共鳴トンネル素子を用いたΔΣ型歪みセンサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Delta-Sigma Strain Sensor Using a Resonant Tunneling Diode |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 共鳴トンネルダイオード / resonant tunneling diode |
| キーワード(2)（和/英） | 発振器 / oscillator |
| キーワード(3)（和/英） | ピエゾ効果 / piezo effect |
| キーワード(4)（和/英） | $DeltaSigma$変調 / $DeltaSigma$ modulation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 前澤 宏一 / Koichi Maezawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 角谷 祐一郎 / Yuichiro Kakutani |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中山 大周 / Taishu Nakayama |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 田近 拓巳 / Takumi Tajika |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 森 雅之 / Masayuki Mori |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 富山大学(略称：富山大) University of Toyama(略称：Univ. Toyama) |
| 発表年月日 | 2015-07-25 |
| 資料番号 | ED2015-46 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | ED-156 |
| ページ範囲 | pp.51-55(ED), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-07-17 (ED) |