| 講演名 | 2015-07-24 X線光電子分光法によるSiO2/β-Ga2O3界面のバンドアライメント評価 小西 敬太(NICT), 上村 崇史(NICT), ワン マンホイ(NICT), 佐々木 公平(タムラ製作所), 倉又 朗人(タムラ製作所), 山腰 茂伸(タムラ製作所), 東脇 正高(NICT), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2015-40 |
| 発行日 | 2015-07-17 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2015/7/24(から2日開催) |
| 開催地（和） | ITビジネスプラザ武蔵研修室1(金沢市武蔵町) |
| 開催地（英） | IT Business Plaza Musashi 5F |
| テーマ（和） | 半導体プロセス・デバイス(表面、界面、信頼性)、一般 |
| テーマ（英） | Semiconductor Processes and Devices |
| 委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 副委員長氏名（和） | 津田 邦男(東芝) |
| 副委員長氏名（英） | Kunio Tsuda(Toshiba) |
| 幹事氏名（和） | 松永 高治(NEC) / 鈴木 寿一(北陸先端大) |
| 幹事氏名（英） | Koji Matsunaga(NEC) / Toshikazu Suzuki(JAIST) |
| 幹事補佐氏名（和） | 新井 学(新日本無線) / 東脇 正高(NICT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Manabu Arai(New JRC) / Masataka Higashiwaki(NICT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | X線光電子分光法によるSiO2/β-Ga2O3界面のバンドアライメント評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Band alignment at SiO2/β-Ga2O3 interface determined by X-ray photoelectron spectroscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 小西 敬太 / Keita Konishi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 情報通信研究機構(略称：NICT) National Institute of Information and Communications Technology(略称：NICT) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 上村 崇史 / Takafumi Kamimura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 情報通信研究機構(略称：NICT) National Institute of Information and Communications Technology(略称：NICT) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | ワン マンホイ / Man Hoi Wong |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 情報通信研究機構(略称：NICT) National Institute of Information and Communications Technology(略称：NICT) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 佐々木 公平 / Kohei Sasaki |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 株式会社 タムラ製作所(略称：タムラ製作所) TAMURA Corporation(略称：MURA Corp.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 倉又 朗人 / Akito Kuramata |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 株式会社 タムラ製作所(略称：タムラ製作所) TAMURA Corporation(略称：MURA Corp.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 山腰 茂伸 / Shigenobu Yamakoshi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 株式会社 タムラ製作所(略称：タムラ製作所) TAMURA Corporation(略称：MURA Corp.) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 東脇 正高 / Masataka Higashiwaki |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 情報通信研究機構(略称：NICT) National Institute of Information and Communications Technology(略称：NICT) |
| 発表年月日 | 2015-07-24 |
| 資料番号 | ED2015-40 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | ED-156 |
| ページ範囲 | pp.21-24(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2015-07-17 (ED) |