| 講演名 | 2015-06-05 基板加熱成膜により作製したCoPtCr-SiO2グラニュラ媒体の成長組織および磁気特性 日向 慎太朗(東北大), タム キムコング(TKK), 齊藤 伸(東北大), |
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| 抄録(和) | 凹凸Ru下地層上に作製されるCoPtCr-SiO2グラニュラ媒体中の垂直磁気異方性エネルギーKu⊥増大のため，磁性結晶粒の原子拡散促進を意図してグラニュラ媒体の基板加熱成膜を試みた．その結果，基板温度Tsub = 343 oC にて成膜した媒体では，まず表面が平坦となったRu下地上に，層状に磁性結晶粒がヘテロエピタキシャル成長し，その上に，SiO2で被覆された球状の磁性結晶粒が結晶方位をランダムに配向させて析出した組織が形成されることが判明した．さらに凹凸Ru層の平坦化要因を調べたところ，平坦化はRu層中に取り込まれていた酸素原子が加熱により脱離することが誘因となってRu結晶粒が再結晶化することにより生じることが確かめられた．これらのことから，高基板温度下でコラム状成長した磁性結晶粒からなるグラニュラ媒体を得るためには，Ru層からの酸素脱離の抑制が肝要であり，実際に凹凸 Ru下地層上にバッファ層としてCoCr-SiO2層を積層してから磁性層の基板加熱成膜を実施することによって，Tsub = 380 oCまでの高温加熱成膜でもコラム状組織を得ることに成功した． |
| 抄録(英) | Application of substrate heating during deposition of CoPtCr-SiO2 granular medium on a bumpy-surface Ru underlayer to increase perpendicular anisotropy energy Ku⊥ of the media by promoting atomic diffusion in magnetic grains was investigated. At substrate temperature Tsub = 343 oC, magnetic grains epitaxially grew on a flat-surface Ru underlayer. And randomly oriented spherical magnetic grains surrounded by SiO2 were segregated on it. Reason of the surface flattening of the bumpy Ru underlayer was recrystallization of Ru grains promoted by desorption of oxygen from Ru grains. To prevent the oxygen desorption and the recrystallization, CoCr-SiO2 buffer layer was introduced onto the Ru underlayer. Consequently, the bumpy surface morphology of the underlayer is maintained and columnar growth of the granular layer was realized under Tsub < 380 oC. |
| キーワード(和) | CoPtCr-SiO2 / Ru / グラニュラ媒体 / 一軸結晶磁気異方性 / 基板加熱成膜 |
| キーワード(英) | CoPtCr-SiO2 / Ru / granular media / uniaxial magnetocrystalline anisotropy / heating substrate deposition |
| 資料番号 | MR2015-9 |
| 発行日 | 2015-05-28 (MR) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MR / ITE-MMS |
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| 開催期間 | 2015/6/4(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大学 |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | 記録システム，一般 |
| テーマ（英） | Recording Systems, etc. |
| 委員長氏名（和） | 五十嵐 万壽和(*) / 宮下 英一(NHK) |
| 委員長氏名（英） | Masukazu Igarashi(*) / Eiichi Miyashita(NHK) |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | 神邊 哲也(昭和電工) / 白鳥 聡志(東芝) / 木下 延博(NHK) |
| 幹事氏名（英） | Tetsuya Kanbe(Syowa Denko) / Satoshi Shirotori(Toshiba) / Nobuhiro Kinoshita(NHK) |
| 幹事補佐氏名（和） | 赤城 文子(工学院大) / 島 隆之(産総研) |
| 幹事補佐氏名（英） | Fumiko Akagi(Kogakuin Univ.) / Takayuki Shima(AIST) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Magnetic Recording / Technical Group on Multi-media Storage |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 基板加熱成膜により作製したCoPtCr-SiO2グラニュラ媒体の成長組織および磁気特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Microstructure and magnetic properties of CoPtCr-SiO2 granular media deposited at high substrate temperature |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | CoPtCr-SiO2 / CoPtCr-SiO2 |
| キーワード(2)（和/英） | Ru / Ru |
| キーワード(3)（和/英） | グラニュラ媒体 / granular media |
| キーワード(4)（和/英） | 一軸結晶磁気異方性 / uniaxial magnetocrystalline anisotropy |
| キーワード(5)（和/英） | 基板加熱成膜 / heating substrate deposition |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 日向 慎太朗 / Shintaro Hinata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | タム キムコング / Kim Kong Tham |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 田中貴金属工業株式会社(略称：TKK) Tanaka Kikinzoku Kogyo K. K.(略称：TKK) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 齊藤 伸 / Shin Saito |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 発表年月日 | 2015-06-05 |
| 資料番号 | MR2015-9 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | MR-71 |
| ページ範囲 | pp.55-59(MR), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-05-28 (MR) |