| 講演名 | 2015-06-19 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームのノズル開口角依存性 寺口 祐介(長岡技科大), 田島 諒一(長岡技科大), 中村 友紀(長岡技科大), 高橋 一匡(長岡技科大), 玉山 泰宏(長岡技科大), 安井 寛治(長岡技科大), |
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| 抄録(和) | 白金ナノ粒子表面での水素と酸素の燃焼反応を利用して高エネルギーH2Oを生成しラバールノズルによりビーム状に噴出、気相中でアルキル亜鉛ガスと反応させ高エネルギーZnOプリカーサを生成後、金属酸化物薄膜を作製するCVD装置のノズル構造について検討した。圧縮性流れの理論に基づきラバールノズルの末広開口角50o, 60o, 90oについてH2Oビームのエネルギー状態を計算したところ、開口角が広いノズル程ノズルスロートからの温度低下が大きくなると計算された。またスケーリングパラメータを算出しそれをもとに平均クラスターサイズを求めたところクラスターサイズは1以下であり本CVD法においてH2Oビーム中にクラスターは形成されていないと推察された。更に末広開口角50o, 60o, 90oのラバールノズルを用いて堆積したZnO膜についてHall効果測定により電気的特性を調べた。 |
| 抄録(英) | Nozzle structure in a CVD apparatus using a high-energy H2O produced by a Pt-catalyzed H2 and O2 reaction was examined. Based on theory of compressive gas flow, distribution of the beam temperature, scaling parameter, and average cluster size of the H2O beam generated by conical nozzles were evaluated. As divergent aperture angle of the conical nozzle was changed from 50o to 90 o, H2O beam energy from nozzle throat to nozzle end was estimated to decrease largely. This is due to the difference in adiabatic expansion of the H2O beam depending on the divergent aperture angle. The condensation scaling parameters (*of the H2O beam for all nozzles were less than 100 and the average cluster sizes were estimated less than 1. Therefore, it was speculated that clusters were not formed in the H2O beam in this CVD apparatus. Electrical property of ZnO thin films deposited using the conical nozzles of divergent aperture angle from 50o to 90o was also measured by Hall effect. |
| キーワード(和) | 触媒反応 / 高エネルギーH2Oビーム / ラバールノズル / クラスターサイズ / ZnO薄膜 |
| キーワード(英) | catalytic reaction / high-temperature H2O beam / conical nozzle / cluster size / ZnO film |
| 資料番号 | EMD2015-16,CPM2015-26,OME2015-29 |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD / CPM / OME |
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| 開催期間 | 2015/6/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 関川 純哉(静岡大) / 野毛 悟(沼津高専) / 松田 直樹(産総研) |
| 委員長氏名（英） | Junya Sekikawa(Shizuoka Univ.) / Satoru Noge(Numazu National College of Tech.) / Naoki Matsuda(AIST) |
| 副委員長氏名（和） | 阿部 宜輝(NTT) / 廣瀬 文彦(山形大) / 森 竜雄(愛知工大) |
| 副委員長氏名（英） | Yoshiteru Abe(NTT) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 澤田 滋(住友電装) / 鈴木 健司(富士電機機器制御) / 小舘 淳一(NTT) / 岩田 展幸(日大) / 鴻野 晃洋(NTT) / 染谷 隆夫(東大) |
| 幹事氏名（英） | Shigeru Sawada(Sumitomo Denso) / Kenji Suzuki(Fujielectric) / Junichi Kodate(NTT) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Akihiro Kohno(NTT) / Takao Someya(Univ. of Tokyo) |
| 幹事補佐氏名（和） | 和田 真一(TMCシステム) / 坂本 尊(NTT) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 梶井 博武(阪大) / 田口 大(東工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Shinichi Wada(TMC system) / Takashi Sakamoto(NTT) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) / Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electromechanical Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 触媒反応生成高エネルギーH2Oビームのノズル開口角依存性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Dependence of H2O beam condition produced by a Pt-catalyzed H2-O2reaction on the opening angle of Laval nozzle |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 触媒反応 / catalytic reaction |
| キーワード(2)（和/英） | 高エネルギーH2Oビーム / high-temperature H2O beam |
| キーワード(3)（和/英） | ラバールノズル / conical nozzle |
| キーワード(4)（和/英） | クラスターサイズ / cluster size |
| キーワード(5)（和/英） | ZnO薄膜 / ZnO film |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 寺口 祐介 / Yusuke Teraguchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田島 諒一 / Ryoichi Tajima |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中村 友紀 / Tomoki Nakamura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高橋 一匡 / Kazumasa Takahashi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 玉山 泰宏 / Yasuhiro Tamayama |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 安井 寛治 / Kanji Yasui |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学(略称：長岡技科大) Nagaoka University of Technology(略称：Nagaoka Univ. Technol) |
| 発表年月日 | 2015-06-19 |
| 資料番号 | EMD2015-16,CPM2015-26,OME2015-29 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | EMD-103,CPM-104,OME-105 |
| ページ範囲 | pp.29-34(EMD), pp.29-34(CPM), pp.29-34(OME), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) |