| 講演名 | 2015-06-19 大気圧CVD法による酸化スズ及び酸化ガリウムナノワイヤーの成長 寺迫 智昭(愛媛大), 倉重 利規(愛媛大), 矢木 正和(香川高専), |
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| 抄録(和) | 金属(スズもしくはガリウム)と水を原料，金(Au)を触媒に用いた大気圧化学気相堆積(CVD)法で成長温度，原料供給比及び成長時間をパラメータとして酸化スズ(SnO$_2$)ナノワイヤー(NWs)及び単斜晶酸化ガリウム($beta$-Ga$_2$O$_3$)ナノ構造の成長実験を行った．ナノ構造のモフォロジーは，昇温時のAuナノ粒子同士の合体や気相-液相-固相(VLS)機構と気相-固相(VS)機構の競合の度合に依存して変化することが明らかになった．SnO$_2$ NWsとGa$_2$O$_3$ ナノ構造のフォトルミネッセンススペクトルでは，化学量論組成からの逸脱によって導入された真性欠陥が関与すると考えられるブロードな可視発光が支配的であった． |
| 抄録(英) | Growth experiments of SnO$_2$ nanowires (NWs) and $beta$-Ga$_2$O$_3$ nanostructures were performed by atmospheric-pressure CVD using Sn powder or Ga beads and water as sources and Au film as catalyst in terms of growth temperature, source supply ratio and growth time. Morphologies of both the SnO$_2$ NWs and $beta$-Ga$_2$O$_3$ nanostructures were found to be changed by the enhancement of the Au particle sizes due to the temperature rise and the degree of the competition between vapor-liquid-solid (VLS) and vapor-solid (VS) growth mechanisms. Photoluminescence spectra from these nanostructures were dominated by the visible-region broad emissions related to the native defects introduced by the deviation from the stoichiometric composition. |
| キーワード(和) | 酸化スズ / 酸化ガリウム / 化学気相堆積法 / ナノワイヤー / 気相-液相-固相成長機構 |
| キーワード(英) | SnO$_2$ / Ga$_2$O$_3$ / Chemical vapor deposition / Nanowire / Vapor-liquid-solid growth mechanism |
| 資料番号 | EMD2015-14,CPM2015-24,OME2015-27 |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD / CPM / OME |
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| 開催期間 | 2015/6/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 関川 純哉(静岡大) / 野毛 悟(沼津高専) / 松田 直樹(産総研) |
| 委員長氏名（英） | Junya Sekikawa(Shizuoka Univ.) / Satoru Noge(Numazu National College of Tech.) / Naoki Matsuda(AIST) |
| 副委員長氏名（和） | 阿部 宜輝(NTT) / 廣瀬 文彦(山形大) / 森 竜雄(愛知工大) |
| 副委員長氏名（英） | Yoshiteru Abe(NTT) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 澤田 滋(住友電装) / 鈴木 健司(富士電機機器制御) / 小舘 淳一(NTT) / 岩田 展幸(日大) / 鴻野 晃洋(NTT) / 染谷 隆夫(東大) |
| 幹事氏名（英） | Shigeru Sawada(Sumitomo Denso) / Kenji Suzuki(Fujielectric) / Junichi Kodate(NTT) / Nobuyuki Iwata(Nihon Univ.) / Akihiro Kohno(NTT) / Takao Someya(Univ. of Tokyo) |
| 幹事補佐氏名（和） | 和田 真一(TMCシステム) / 坂本 尊(NTT) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 梶井 博武(阪大) / 田口 大(東工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Shinichi Wada(TMC system) / Takashi Sakamoto(NTT) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) / Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electromechanical Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 大気圧CVD法による酸化スズ及び酸化ガリウムナノワイヤーの成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Growth of SnO2 and Ga2O3 Nanowires by Atmospheric-pressure CVD |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化スズ / SnO$_2$ |
| キーワード(2)（和/英） | 酸化ガリウム / Ga$_2$O$_3$ |
| キーワード(3)（和/英） | 化学気相堆積法 / Chemical vapor deposition |
| キーワード(4)（和/英） | ナノワイヤー / Nanowire |
| キーワード(5)（和/英） | 気相-液相-固相成長機構 / Vapor-liquid-solid growth mechanism |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 寺迫 智昭 / Tomoaki Terasako |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 愛媛大学(略称：愛媛大) Ehime University(略称：Ehime Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 倉重 利規 / Toshiki Kurashige |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 愛媛大学(略称：愛媛大) Ehime University(略称：Ehime Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 矢木 正和 / Masakazu Yagi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 香川高等専門学校(略称：香川高専) National Institute of Technology, Kagawa College(略称：Natl. Inst. Technol., Kagawa Coll.) |
| 発表年月日 | 2015-06-19 |
| 資料番号 | EMD2015-14,CPM2015-24,OME2015-27 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | EMD-103,CPM-104,OME-105 |
| ページ範囲 | pp.17-22(EMD), pp.17-22(CPM), pp.17-22(OME), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) |