| 講演名 | 2015-04-30 レーザーアニールによる低抵抗結晶化Si薄膜 野口 隆(琉球大), 岡田 竜弥(琉球大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2015-15,OME2015-15 |
| 発行日 | 2015-04-22 (SDM, OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME / SDM |
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| 開催期間 | 2015/4/29(から2日開催) |
| 開催地（和） | 大濱信泉記念館多目的ホール |
| 開催地（英） | Oh-hama Nobumoto Memorial Hall |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 |
| テーマ（英） | Thin FIlms, Functional Electronics Devices, New Functional Materials and Evaluation, BIomtechnology |
| 委員長氏名（和） | 加藤 景三(新潟大) / 大野 裕三(筑波大) |
| 委員長氏名（英） | Keizo Kato(Niigata Univ.) / Yuzou Oono(Univ. of Tsukuba) |
| 副委員長氏名（和） | 松田 直樹(産総研) / 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) |
| 副委員長氏名（英） | Naoki Matsuda(AIST) / Tatsuya Kunikiyo(Renesas) |
| 幹事氏名（和） | 瀧本 清(キヤノン電子) / 森 竜雄(愛知工大) / 黒田 理人(東北大) |
| 幹事氏名（英） | Kiyoshi Takimoto(Canon Electronics) / Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) / Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 鴻野 晃洋(NTT) / 井上 振一郎(NICT) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
| 幹事補佐氏名（英） | Akihiro Kohno(NTT) / Shinichiro Inoue(NICT) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Organic Molecular Electronics / Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | レーザーアニールによる低抵抗結晶化Si薄膜 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Low Resistivity of poly-Si films by LA Laser Annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野口 隆 / Takashi Noguchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) Univeristy of the Ryukyus(略称：Univ. Ryukyus) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) Univeristy of the Ryukyus(略称：Univ. Ryukyus) |
| 発表年月日 | 2015-04-30 |
| 資料番号 | SDM2015-15,OME2015-15 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | SDM-18,OME-19 |
| ページ範囲 | pp.57-61(SDM), pp.57-61(OME), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2015-04-22 (SDM, OME) |