| 講演名 | 2015-04-17 赤外分光法によるナノバブルの表面洗浄効果のその場観察 齋藤 栄幸(東北大), 馬 騰(東北大), 山本 英明(東北大), 平野 愛弓(東北大), 庭野 道夫(東北大), |
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| 抄録(和) | 直径1 µm以下の微細気泡はナノバブルと呼ばれ，表面洗浄効果や水質浄化などの特異な性質が明らかにされたことにより，近年，半導体工学や医療分野など多方面において応用が期待されている．しかし，そのような効果が生じる物理化学的機序は已然として不明な点が多い．本研究では赤外吸収分光法を用いて，規則的ナノ細孔を有するポーラスアルミナ薄膜を通して高圧ガスを溶液内に噴射することによりナノバブルを発生できることを確認し，続いて固体表面に吸着させた有機汚染物質とナノバブルとの相互作用を調べたのでその結果を報告する． |
| 抄録(英) | Using multiple internal reflection spectroscopy, we studied how nanobubbles interact with solid surfaces and removes organic contaminants. Nanobubbles were generated by passing pressurized gas through a porous alumina film. We show that a major organic contaminant in semiconductor processing, dioctyl phthalate (DOP), was efficiently removed from the surface via its exposure to oxygen nanobubbles, whereas no sign of removal was observed with nitrogen nanobubbles. The results suggest chemical interaction as dominant factor in contaminant removal. |
| キーワード(和) | ナノバブル / ポーラスアルミナ / 赤外吸収分光法 / DOP |
| キーワード(英) | nanobubble / porous alumina / infrared absorption spectroscopy / DOP |
| 資料番号 | ED2015-10 |
| 発行日 | 2015-04-09 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2015/4/16(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大通研ナノスピン実験施設 |
| 開催地（英） | Laboratory for Nanoelectronics and Spintronics |
| テーマ（和） | 有機デバイス・酸化物デバイス・一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 原 直紀(富士通研) |
| 委員長氏名（英） | Naoki Hara(Fujitsu Labs.) |
| 副委員長氏名（和） | 前澤 宏一(富山大) |
| 副委員長氏名（英） | Koichi Maezawa(Univ. of Toyama) |
| 幹事氏名（和） | 葛西 誠也(北大) / 松永 高治(NEC) |
| 幹事氏名（英） | Seiya Kasai(Hokkaido Univ.) / Koji Matsunaga(NEC) |
| 幹事補佐氏名（和） | 鈴木 寿一(北陸先端大) / 新井 学(新日本無線) |
| 幹事補佐氏名（英） | Toshikazu Suzuki(JAIST) / Manabu Arai(New JRC) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Device |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 赤外分光法によるナノバブルの表面洗浄効果のその場観察 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | In-situ infrared absorption spectroscopy of interaction of nanobubbles with solid surfaces |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノバブル / nanobubble |
| キーワード(2)（和/英） | ポーラスアルミナ / porous alumina |
| キーワード(3)（和/英） | 赤外吸収分光法 / infrared absorption spectroscopy |
| キーワード(4)（和/英） | DOP / DOP |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 齋藤 栄幸 / Hideyuki Saito |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 馬 騰 / Teng Ma |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山本 英明 / Hideaki Yamamoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 平野 愛弓 / Ayumi Hirano-Iwata |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 庭野 道夫 / Michio Niwano |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 発表年月日 | 2015-04-17 |
| 資料番号 | ED2015-10 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | ED-5 |
| ページ範囲 | pp.47-52(ED), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-04-09 (ED) |