講演名 | 2015-04-30 非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響 工藤 和樹(熊本高専), 草野 欽太(熊本高専), 酒井 崇嗣(熊本高専), 本山 慎一(サムコ), 楠田 豊(サムコ), 古田 真浩(サムコ), 中 庸行(堀場製作所), 沼田 朋子(堀場製作所), 高倉 健一郎(熊本高専), 角田 功(熊本高専), |
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資料番号 | SDM2015-11,OME2015-11 |
発行日 | 2015-04-22 (SDM, OME) |
研究会情報 | |
研究会 | OME / SDM |
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開催期間 | 2015/4/29(から2日開催) |
開催地(和) | 大濱信泉記念館多目的ホール |
開催地(英) | Oh-hama Nobumoto Memorial Hall |
テーマ(和) | 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般 |
テーマ(英) | Thin FIlms, Functional Electronics Devices, New Functional Materials and Evaluation, BIomtechnology |
委員長氏名(和) | 加藤 景三(新潟大) / 大野 裕三(筑波大) |
委員長氏名(英) | Keizo Kato(Niigata Univ.) / Yuzou Oono(Univ. of Tsukuba) |
副委員長氏名(和) | 松田 直樹(産総研) / 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス) |
副委員長氏名(英) | Naoki Matsuda(AIST) / Tatsuya Kunikiyo(Renesas) |
幹事氏名(和) | 瀧本 清(キヤノン電子) / 森 竜雄(愛知工大) / 黒田 理人(東北大) |
幹事氏名(英) | Kiyoshi Takimoto(Canon Electronics) / Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) / Rihito Kuroda(Tohoku Univ.) |
幹事補佐氏名(和) | 鴻野 晃洋(NTT) / 井上 振一郎(NICT) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス) |
幹事補佐氏名(英) | Akihiro Kohno(NTT) / Shinichiro Inoue(NICT) / Tadashi Yamaguchi(Renesas) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Organic Molecular Electronics / Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Influence of TEOS-SiO2 cap layer on Au induced lateral crystallization for amorphous Ge on insulator |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 工藤 和樹 / Kazuki Kudo |
第 1 著者 所属(和/英) | 熊本高等専門学校(略称:熊本高専) Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 草野 欽太 / Kinta Kusano |
第 2 著者 所属(和/英) | 熊本高等専門学校(略称:熊本高専) Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 酒井 崇嗣 / Takatsugu Sakai |
第 3 著者 所属(和/英) | 熊本高等専門学校(略称:熊本高専) Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT) |
第 4 著者 氏名(和/英) | 本山 慎一 / Shinichi Motoyama |
第 4 著者 所属(和/英) | サムコ株式会社(略称:サムコ) SAMCO(略称:SAMCO) |
第 5 著者 氏名(和/英) | 楠田 豊 / Yutaka Kusuda |
第 5 著者 所属(和/英) | サムコ株式会社(略称:サムコ) SAMCO(略称:SAMCO) |
第 6 著者 氏名(和/英) | 古田 真浩 / Masahiro Furuta |
第 6 著者 所属(和/英) | サムコ株式会社(略称:サムコ) SAMCO(略称:SAMCO) |
第 7 著者 氏名(和/英) | 中 庸行 / Nobuyuki Naka |
第 7 著者 所属(和/英) | 株式会社堀場製作所(略称:堀場製作所) HORIBA(略称:HORIBA) |
第 8 著者 氏名(和/英) | 沼田 朋子 / Tomoko Numata |
第 8 著者 所属(和/英) | 株式会社堀場製作所(略称:堀場製作所) HORIBA(略称:HORIBA) |
第 9 著者 氏名(和/英) | 高倉 健一郎 / Kenichiro Takakura |
第 9 著者 所属(和/英) | 熊本高等専門学校(略称:熊本高専) Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT) |
第 10 著者 氏名(和/英) | 角田 功 / Isao Tsunoda |
第 10 著者 所属(和/英) | 熊本高等専門学校(略称:熊本高専) Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT) |
発表年月日 | 2015-04-30 |
資料番号 | SDM2015-11,OME2015-11 |
巻番号(vol) | vol.115 |
号番号(no) | SDM-18,OME-19 |
ページ範囲 | pp.41-44(SDM), pp.41-44(OME), |
ページ数 | 4 |
発行日 | 2015-04-22 (SDM, OME) |