講演名 2015-04-30
非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響
工藤 和樹(熊本高専), 草野 欽太(熊本高専), 酒井 崇嗣(熊本高専), 本山 慎一(サムコ), 楠田 豊(サムコ), 古田 真浩(サムコ), 中 庸行(堀場製作所), 沼田 朋子(堀場製作所), 高倉 健一郎(熊本高専), 角田 功(熊本高専),
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抄録(和)
抄録(英)
キーワード(和)
キーワード(英)
資料番号 SDM2015-11,OME2015-11
発行日 2015-04-22 (SDM, OME)

研究会情報
研究会 OME / SDM
開催期間 2015/4/29(から2日開催)
開催地(和) 大濱信泉記念館多目的ホール
開催地(英) Oh-hama Nobumoto Memorial Hall
テーマ(和) 薄膜(Si,化合物,有機,フレキシブル)機能デバイス・材料・評価技術、バイオテクノロジー、および一般
テーマ(英) Thin FIlms, Functional Electronics Devices, New Functional Materials and Evaluation, BIomtechnology
委員長氏名(和) 加藤 景三(新潟大) / 大野 裕三(筑波大)
委員長氏名(英) Keizo Kato(Niigata Univ.) / Yuzou Oono(Univ. of Tsukuba)
副委員長氏名(和) 松田 直樹(産総研) / 国清 辰也(ルネサス エレクトロニクス)
副委員長氏名(英) Naoki Matsuda(AIST) / Tatsuya Kunikiyo(Renesas)
幹事氏名(和) 瀧本 清(キヤノン電子) / 森 竜雄(愛知工大) / 黒田 理人(東北大)
幹事氏名(英) Kiyoshi Takimoto(Canon Electronics) / Tatsuo Mori(Aichi Inst. of Tech.) / Rihito Kuroda(Tohoku Univ.)
幹事補佐氏名(和) 鴻野 晃洋(NTT) / 井上 振一郎(NICT) / 山口 直(ルネサス エレクトロニクス)
幹事補佐氏名(英) Akihiro Kohno(NTT) / Shinichiro Inoue(NICT) / Tadashi Yamaguchi(Renesas)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Organic Molecular Electronics / Technical Committee on Silicon Device and Materials
本文の言語 JPN
タイトル(和) 非晶質Ge薄膜のAu誘起成長に及ぼすTEOS-SiO2キャップ層の影響
サブタイトル(和)
タイトル(英) Influence of TEOS-SiO2 cap layer on Au induced lateral crystallization for amorphous Ge on insulator
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英)
第 1 著者 氏名(和/英) 工藤 和樹 / Kazuki Kudo
第 1 著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校(略称:熊本高専)
Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT)
第 2 著者 氏名(和/英) 草野 欽太 / Kinta Kusano
第 2 著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校(略称:熊本高専)
Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT)
第 3 著者 氏名(和/英) 酒井 崇嗣 / Takatsugu Sakai
第 3 著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校(略称:熊本高専)
Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT)
第 4 著者 氏名(和/英) 本山 慎一 / Shinichi Motoyama
第 4 著者 所属(和/英) サムコ株式会社(略称:サムコ)
SAMCO(略称:SAMCO)
第 5 著者 氏名(和/英) 楠田 豊 / Yutaka Kusuda
第 5 著者 所属(和/英) サムコ株式会社(略称:サムコ)
SAMCO(略称:SAMCO)
第 6 著者 氏名(和/英) 古田 真浩 / Masahiro Furuta
第 6 著者 所属(和/英) サムコ株式会社(略称:サムコ)
SAMCO(略称:SAMCO)
第 7 著者 氏名(和/英) 中 庸行 / Nobuyuki Naka
第 7 著者 所属(和/英) 株式会社堀場製作所(略称:堀場製作所)
HORIBA(略称:HORIBA)
第 8 著者 氏名(和/英) 沼田 朋子 / Tomoko Numata
第 8 著者 所属(和/英) 株式会社堀場製作所(略称:堀場製作所)
HORIBA(略称:HORIBA)
第 9 著者 氏名(和/英) 高倉 健一郎 / Kenichiro Takakura
第 9 著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校(略称:熊本高専)
Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT)
第 10 著者 氏名(和/英) 角田 功 / Isao Tsunoda
第 10 著者 所属(和/英) 熊本高等専門学校(略称:熊本高専)
Kumamoto National College of Technology(略称:KNCT)
発表年月日 2015-04-30
資料番号 SDM2015-11,OME2015-11
巻番号(vol) vol.115
号番号(no) SDM-18,OME-19
ページ範囲 pp.41-44(SDM), pp.41-44(OME),
ページ数 4
発行日 2015-04-22 (SDM, OME)