| 講演名 | 2024-01-31 ［招待講演］３次元構造強誘電体キャパシターを有する低電圧かつ高信頼性1T1C型FeRAM 奥野 潤(ソニーセミコン), 国広 恭史(ソニーセミコン), 周藤 悠介(ソニーセミコン), 米内 飛翔(ソニーセミコン), 小野 凌(ソニーセミコン), ルーベン アルカーラ(ナムラボ), マキシミリアン レダー(フラウンホーファー), コンラッド ザイダル(フラウンホーファー), トーマス ミコラジック(ナムラボ), ウベ シュローダー(ナムラボ), 梅林 拓(ソニーセミコン), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2023-79 |
| 発行日 | 2024-01-24 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2024/1/31(から1日開催) |
| 開催地（和） | 金沢工業大学大学院 虎ノ門キャンパス |
| 開催地（英） | KIT Toranomon Graduate School |
| テーマ（和） | 先端デバイス・ プロセス技術（IEDM特集） |
| テーマ（英） | Advanced semiconductor devices and processes (Special feature on IEDM) |
| 委員長氏名（和） | 大見 俊一郎(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 宇佐美 達矢(ラピダス) |
| 副委員長氏名（英） | Tatsuya Usami(Rapidus) |
| 幹事氏名（和） | 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) |
| 幹事氏名（英） | Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) |
| 幹事補佐氏名（和） | 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(ウエスタンデジタル) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(Western Digital) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］３次元構造強誘電体キャパシターを有する低電圧かつ高信頼性1T1C型FeRAM |
| サブタイトル（和） | IEDM2023報告内容 |
| タイトル（英） | [Invited Talk] A highly reliable 1.8 V 1 Mb Hf0.5Zr0.5O2-based 1T1C FeRAM Array with 3-D Capacitors |
| サブタイトル（和） | Report on IEDM2023 |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 奥野 潤 / Jun Okuno |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコン) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions Corp.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 国広 恭史 / Takafumi Kunihiro |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコン) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions Corp.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 周藤 悠介 / Yusuke Shuto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコン) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions Corp.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 米内 飛翔 / Tsubasa Yonai |
| 第 4 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコン) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions Corp.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小野 凌 / Ryo Ono |
| 第 5 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコン) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions Corp.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | ルーベン アルカーラ / Ruben Alcala |
| 第 6 著者 所属（和/英） | ナムラボ(略称：ナムラボ) NaMLab(略称：NaMLab) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | マキシミリアン レダー / Maximilian Lederer |
| 第 7 著者 所属（和/英） | フラウンホーファー(略称：フラウンホーファー) Fraunhofer IPMS(略称：Fraunhofer IPMS) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | コンラッド ザイダル / Konrad Seidel |
| 第 8 著者 所属（和/英） | フラウンホーファー(略称：フラウンホーファー) Fraunhofer IPMS(略称：Fraunhofer IPMS) |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | トーマス ミコラジック / Thomas Mikolajick |
| 第 9 著者 所属（和/英） | ナムラボ(略称：ナムラボ) NaMLab(略称：NaMLab) |
| 第 10 著者 氏名（和/英） | ウベ シュローダー / Uwe Schroeder |
| 第 10 著者 所属（和/英） | ナムラボ(略称：ナムラボ) NaMLab(略称：NaMLab) |
| 第 11 著者 氏名（和/英） | 梅林 拓 / Taku Umebayashi |
| 第 11 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコン) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions Corp.) |
| 発表年月日 | 2024-01-31 |
| 資料番号 | SDM2023-79 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | SDM-375 |
| ページ範囲 | pp.20-23(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-01-24 (SDM) |