| 講演名 | 2023-12-22 ［ポスター講演］厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス 白岩 和剛(早大), 柳谷 隆彦(早大), |
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| 抄録(和) | RF信号はレクテナと呼ばれるアンテナとダイオードを用いてDC信号に変換することができる。しかし、長距離無線通信では、微弱なRF信号はレクテナのダイオードのしきい値電圧を超えないため、RF-DC変換の効率は悪くなる。本研究では、c軸ジグザグScAlN多層膜を用いたBAW共振子型圧電トランスを提案する。音響ブラッグ反射器を用いた音響多層膜共振子（SMR）型トランスは、以前に報告した基板付き薄膜共振子(HBAR)型トランスよりも広帯域の動作が可能である。SMR型圧電トランスはRFマグネトロンスパッタリングにより作製した。その結果、音響ブラッグ反射器上に180°対称に配向したジグザグ配向を確認し、昇圧比は約2.7倍となった。また、比帯域幅は3.2%となり、HBAR型トランスの46倍の広帯域化を実現した。 |
| 抄録(英) | RF signal can be converted to DC signal using an antenna and diode (rectenna). When distance of wireless transfer is long, RF-DC conversion efficiency is inefficient because a weak RF signal cannot exceed the threshold voltage of the diodes in the rectenna. This study proposes resonator type piezoelectric transformer based on c-axis zig-zag ScAlN films. Solidly mounted resonator (SMR) type transformer using an acoustic Bragg reflector enables a wider bandwidth operation than previously reported film/substrate type transformer.. As a result, zig-zag multilayers where c-axis oriented 180° symmetrically on the acoustic Bragg reflector was fabricated by oblique RF magnetron sputtering. Voltage gain of 2.7 and the fractional bandwidth of 3.2% which was 46 times wider than that of film/substrate type transformer were observed. |
| キーワード(和) | レクテナ / ScAlN / 分極反転構造 / c軸ジグザグ |
| キーワード(英) | Rectenna / ScAlN / polarization inversion structure / c-axis zig-zag |
| 資料番号 | US2023-64 |
| 発行日 | 2023-12-15 (US) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA / US |
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| 開催期間 | 2023/12/22(から2日開催) |
| 開催地（和） | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | ＜音響・超音波サブソサイエティ合同研究会＞応用／電気音響，超音波一般 |
| テーマ（英） | [Joint Meeting on Acoustics and Ultrasonics Subsociety] Engineering/Electro Acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 委員長氏名（和） | 小野 順貴(都立大) / 渡部 泰明(都立大) |
| 委員長氏名（英） | Junki Ono(Tokyo Metropolitan Univ.) / Yasuaki Watanabe(Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 西浦 敬信(立命館大) / 梶川 嘉延(関西大) / 中村 健太郎(東工大) / 工藤 すばる(石巻専修大) |
| 副委員長氏名（英） | Takanobu Nishiura(RitsumeikanUniv.) / Yoshinobu Kajikawa(Kansai Univ.) / Kentaro Nakamura(Tokyo Inst. of Tech.) / Subaru Kudo(Ishinomaki Senshu Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 若山 圭吾(NTT) / 伊藤 信貴(東大) / 吉澤 晋(東北大) / 大久保 寛(都立大) |
| 幹事氏名（英） | Keigo Wakayama(NTT) / Nobutaka Ito(Univ. of Tokyo) / Shin Yoshizawa(Tohoku Univ.) / Kan Okubo(Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 中山 雅人(阪産大) / 矢田部 浩平(東京農工大) / 大隅 歩(日大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masato Nakayama(OSU) / Kouhei Yatabe(TUAT) / Ayumu Osumi(Nihon Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Engineering Acoustics / Technical Committee on Ultrasonics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［ポスター講演］厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Poster Presentation] SMR-type piezoelectric transformer using shear mode c-axis zigzag ScAlN multilayer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レクテナ / Rectenna |
| キーワード(2)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(3)（和/英） | 分極反転構造 / polarization inversion structure |
| キーワード(4)（和/英） | c軸ジグザグ / c-axis zig-zag |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 白岩 和剛 / Kazutaka Siraiwa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda university(略称：Waseda univ.) |
| 発表年月日 | 2023-12-22 |
| 資料番号 | US2023-64 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | US-321 |
| ページ範囲 | pp.47-52(US), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-12-15 (US) |