| 講演名 | 2023-12-22 空洞共振器型RTD発振器によるミリワット級高出力テラヘルツ発振 田中 大基(東工大), 藤方 秀成(東工大), 韓 非凡(東工大), 志村 拓海(東工大), 鈴木 左文(東工大), |
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| 抄録(和) | 共鳴トンネルダイオード（RTD）はコンパクトな室温テラヘルツ（THz）光源として期待されている．RTDの大面積化により大出力が期待されるが，大電流による熱破壊が起こることが課題であった．そこで，放熱の改善を目的にRTD層下の導電層を低熱伝導のn+-InGaAsから高熱伝導のn+-InPに変更したRTD構造を考案し，大面積での動作が可能となったが，n+-InPの電気伝導が悪いことなどにより出力低下する問題が新たに発生した．この問題を解決するために，n+-InP層を厚膜化し，さらに電極間距離を近づけ抵抗を削減したデバイス構造を作製したところ，0.66 THzで1.13 mWの高出力発振を得た． |
| 抄録(英) | Resonant tunneling diodes (RTDs) are considered promising as compact room-temperature terahertz (THz) light sources. Although a high output power is expected in a large-area RTD device, a thermal breakdown of RTDs due to high operation current was a significant challenge. To address this issue, we developed an RTD structure wherein the conductive layer beneath the RTD layer was changed from low thermal conductive n+-InGaAs to high thermal conductive n+-InP, which enabled operation without heat destruction even in a larger RTD area. However, an output power degradation occurred due to high electrical resistivity of n+-InP, etc. Therefore, we fabricated a THz oscillator with thickening in n+-InP layer and shortening electrode separation for reducing resistance and achieved a high-output oscillation of 1.13 mW at 0.66 THz. |
| キーワード(和) | テラヘルツ発振器 / 共鳴トンネルダイオード / THz / RTD |
| キーワード(英) | Terahertz oscillator / Resonant tunneling diode / THz / RTD |
| 資料番号 | ED2023-60,MWPTHz2023-70 |
| 発行日 | 2023-12-14 (ED, MWPTHz) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED / MWPTHz |
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| 開催期間 | 2023/12/21(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大・通研 |
| 開催地（英） | RIEC, Tohoku Univ. |
| テーマ（和） | ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 葛西 誠也(北大) / 菅野 敦史(名工大) |
| 委員長氏名（英） | Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Atsushi Kanno(Nagoya Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 新井 学(名大) / 冨士田 誠之(阪大) / 池田 研介(電中研) |
| 副委員長氏名（英） | Manabu Arai(Nagoya Univ.) / Masayuki Fujita(Osaka Univ.) / Kensuke Ikeda(CRIEPI) |
| 幹事氏名（和） | 大石 敏之(佐賀大) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 山口 祐也(NICT) / 渡邊 一世(NICT) |
| 幹事氏名（英） | Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Yuya Yamaguchi(NICT) / Issei Watanabe(NICT) |
| 幹事補佐氏名（和） | 小山 政俊(阪工大) / 吉田 智洋(住友電工デバイス・イノベーション) / 易 利(阪大) / 佐藤 昭(東北大) / 鈴木 左文(東工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masatoshi Koyama(Osaka Inst. of Tech.) / Tomohiro Yoshida(SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS) / Li Yi(Osaka Univ.) / Akira Satou(Tohoku Univ.) / Safumi Suzuki(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Microwave Photonics and Terahertz Photonic-Electronic Technologies |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 空洞共振器型RTD発振器によるミリワット級高出力テラヘルツ発振 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Milliwatt-class high-power terahertz oscillations in RTD oscillator with cavity-type resonator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | テラヘルツ発振器 / Terahertz oscillator |
| キーワード(2)（和/英） | 共鳴トンネルダイオード / Resonant tunneling diode |
| キーワード(3)（和/英） | THz / THz |
| キーワード(4)（和/英） | RTD / RTD |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田中 大基 / Hiroki Tanaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Techonology(略称：Titech) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤方 秀成 / Hidenari Fujikata |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Techonology(略称：Titech) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 韓 非凡 / Han Feifan |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Techonology(略称：Titech) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 志村 拓海 / Takumi Shimura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Techonology(略称：Titech) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 鈴木 左文 / Safumi Suzuki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東京工業大学(略称：東工大) Tokyo Institute of Techonology(略称：Titech) |
| 発表年月日 | 2023-12-22 |
| 資料番号 | ED2023-60,MWPTHz2023-70 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | ED-312,MWPTHz-313 |
| ページ範囲 | pp.32-35(ED), pp.32-35(MWPTHz), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-12-14 (ED, MWPTHz) |