| 講演名 | 2023-11-10 ［招待講演］キャリアの捕獲・励起過程を導入した自己無撞着モンテカルロデバイスシミュレーション 橋本 風渡(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 鈴木 刀真(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 三成 英樹(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 中﨑 暢也(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 小町 潤(ソニーセミコンダクタソリューションズ), 佐野 伸行(筑波大), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 本研究では、不純物の離散性とトラップによるキャリア捕獲励起過程をモンテカルロデバイスシミュレーションに正しく導入し、n型抵抗体およびCMOSイメージセンサにおけるキャリアの転送特性を計算した。そして、実験で観測されている残留キャリア数の時間変化における長い裾引きの再現に成功し、モデルの正当性を確認した。 |
| 抄録(英) | The capture-excitation processes of carriers are implemented in self-consistent Monte Carlo device simulations. The carrier transfer characteristics in n-type resistors and CMOS image sensors (CISs) are simulated. The long tail observed in experiments in time evolutions of the number of residual carriers has been successfully reproduced. |
| キーワード(和) | キャリア輸送 / 離散不純物 / モンテカルロシミュレーション / 捕獲励起過程 |
| キーワード(英) | transport / random discrete dopant / Monte-Carlo device simulation / carrier capture excitation |
| 資料番号 | SDM2023-69 |
| 発行日 | 2023-11-02 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
|---|---|
| 開催期間 | 2023/11/9(から2日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 5階 5S-2 会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit simulation, etc. |
| 委員長氏名（和） | 大見 俊一郎(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 宇佐美 達矢(ラピダス) |
| 副委員長氏名（英） | Tatsuya Usami(Rapidus) |
| 幹事氏名（和） | 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) |
| 幹事氏名（英） | Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) |
| 幹事補佐氏名（和） | 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(ウエスタンデジタル) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(Western Digital) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］キャリアの捕獲・励起過程を導入した自己無撞着モンテカルロデバイスシミュレーション |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Self-Consistent Monte Carlo Device Simulation of Capture-Excitation Processes of Carriers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | キャリア輸送 / transport |
| キーワード(2)（和/英） | 離散不純物 / random discrete dopant |
| キーワード(3)（和/英） | モンテカルロシミュレーション / Monte-Carlo device simulation |
| キーワード(4)（和/英） | 捕獲励起過程 / carrier capture excitation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 橋本 風渡 / Futo Hashimoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鈴木 刀真 / Toma Suzuki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 三成 英樹 / Hideki Minari |
| 第 3 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 中﨑 暢也 / Nobuya Nakazaki |
| 第 4 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小町 潤 / Jun Komachi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：ソニーセミコンダクタソリューションズ) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：Sony Semiconductor Solutions) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 佐野 伸行 / Nobuyuki Sano |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 筑波大学(略称：筑波大) University of Tsukuba(略称：Univ. of Tsukuba) |
| 発表年月日 | 2023-11-10 |
| 資料番号 | SDM2023-69 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | SDM-250 |
| ページ範囲 | pp.31-34(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-11-02 (SDM) |