| 講演名 | 2023-11-09 ［招待講演］半導体ナノシートにおける表面ラフネス散乱の量子論に基づく数値解析 岡田 丈(阪大), 田中 一(阪大), 森 伸也(阪大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SDM2023-65 |
| 発行日 | 2023-11-02 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2023/11/9(から2日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 5階 5S-2 会議室 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | プロセス・デバイス・回路シミュレーションおよび一般 |
| テーマ（英） | Process, Device, Circuit simulation, etc. |
| 委員長氏名（和） | 大見 俊一郎(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 宇佐美 達矢(ラピダス) |
| 副委員長氏名（英） | Tatsuya Usami(Rapidus) |
| 幹事氏名（和） | 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) |
| 幹事氏名（英） | Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) |
| 幹事補佐氏名（和） | 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(ウエスタンデジタル) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(Western Digital) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］半導体ナノシートにおける表面ラフネス散乱の量子論に基づく数値解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Quantum Transport Simulation for Analysis of Surface Roughness Scattering in Semiconductor Nanosheet |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岡田 丈 / Jo Okada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪大学(略称：阪大) Osaka University(略称：Osaka Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田中 一 / Hajime Tanaka |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学(略称：阪大) Osaka University(略称：Osaka Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 森 伸也 / Nobuya Mori |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学(略称：阪大) Osaka University(略称：Osaka Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-11-09 |
| 資料番号 | SDM2023-65 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | SDM-250 |
| ページ範囲 | pp.10-15(SDM), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-11-02 (SDM) |