| 講演名 | 2023-08-21 水晶Qを測定するための位相雑音測定法 青木 佑太(都立大), 原 健悟(都立大), 渡部 泰明(都立大), |
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| 抄録(和) | QCM は一般に水や油などの粘度変化に伴う質量を測定するものと考えられているが、最大の市場は半導体製造に必要な蒸着装置やスパッタリング装置などの真空蒸着プロセスである。これらのプロセスでは、共振周波数や Q 値の測定が求められる。そこで、これらの測定に信号源アナライザを使用することを考えた。未使用のQCM と使用した QCM の位相ノイズを比較し、位相ノイズを用いた測定の有効性を研究した。 |
| 抄録(英) | QCMs are generally thought to measure the mass associated with changes in the viscosity of water, oil, etc., but the largest market is vacuum deposition processes such as vapor eposition equipment and sputtering equipment required for semiconductor manufacturing. The rocesses call for measurement of resonant frequency and Q factor. So, we have considered using a signal source analyzer for measuring these value. We compared the phase noise of a new QCMs and a slightly used ones to research effectiveness of measuring with phase noises. |
| キーワード(和) | QCM / シグナルソースアナライザ / 位相雑音 / Q値 |
| キーワード(英) | QCM / Signal Source Analyzer / Phase noise / Q factor |
| 資料番号 | US2023-36 |
| 発行日 | 2023-08-14 (US) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2023/8/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | 東京工業大学 大岡山キャンパス 東工大蔵前会館 |
| 開催地（英） | Tokyo Tech Front, Tokyo Tech (Ookayama Campus) |
| テーマ（和） | 水中音響, 超音波一般（共催：海洋音響学会） |
| テーマ（英） | Underwater acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 委員長氏名（和） | 渡部 泰明(都立大) |
| 委員長氏名（英） | Yasuaki Watanabe(Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 中村 健太郎(東工大) / 工藤 すばる(石巻専修大) |
| 副委員長氏名（英） | Kentaro Nakamura(Tokyo Inst. of Tech.) / Subaru Kudo(Ishinomaki Senshu Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 吉澤 晋(東北大) / 大久保 寛(都立大) |
| 幹事氏名（英） | Shin Yoshizawa(Tohoku Univ.) / Kan Okubo(Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 大隅 歩(日大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Ayumu Osumi(Nihon Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Ultrasonics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 水晶Qを測定するための位相雑音測定法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Measurement of crystal Qs by using phase noise |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | QCM / QCM |
| キーワード(2)（和/英） | シグナルソースアナライザ / Signal Source Analyzer |
| キーワード(3)（和/英） | 位相雑音 / Phase noise |
| キーワード(4)（和/英） | Q値 / Q factor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 青木 佑太 / Yuta Aoki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京都立大学(略称：都立大) Tokyo Metropolitan University(略称：Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 原 健悟 / Kengo Hara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京都立大学(略称：都立大) Tokyo Metropolitan University(略称：Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 渡部 泰明 / Yasuaki Watanabe |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京都立大学(略称：都立大) Tokyo Metropolitan University(略称：Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-08-21 |
| 資料番号 | US2023-36 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | US-157 |
| ページ範囲 | pp.30-33(US), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-08-14 (US) |