| 講演名 | 2023-07-31 誘電体樹脂材料のVUV光による表面改質における真空紫外線の吸収特性の評価 遠藤 真一(阪府大), 石川 有紀(阪府大), 白樫 陽菜(阪公大), 齊藤 丈靖(阪公大), |
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| 抄録(和) | 樹脂は一般に紫外線をよく吸収するため、樹脂内部への真空紫外（VUV）線の到達はごく表面に限定されると考えられている。しかしながら実際の樹脂材料の真空紫外線の吸収透過特性については報告例がほとんどない。本研究において、我々は実際の電子部品の絶縁材料として用いられるエポキシ樹脂を試料とし、真空紫外分光器を用いて140-220nm域の分光透過率を測定した。エポキシ樹脂に真空紫外線を照射し、樹脂表層のエーテル結合1100cm-1の変化をFTIR-ATRで分析した。エポキシ樹脂の真空紫外線の吸収係数からエキシマランプが放射するVUV光（中心波長172nm）の樹脂の深さ方向への浸透性を評価した。 |
| 抄録(英) | Since resin generally absorbs vacuum ultraviolet (VUV) light well, it is thought that the VUV light reaching the inside of the resin are limited to the very surface. However, there are almost no reports on the absorption and transmission characteristics of VUV light in actual resin materials. In this study, we measured the spectral transmittance of the epoxy resin in the 140-220 nm region using a vacuum ultraviolet spectrometer, which is used as an insulating material for actual electronic devices, as a work. Epoxy resin was irradiated with some VUV doses and the surface condition was analyzed by XPS and FTIR-ATR. Based on the absorption coefficient, we evaluated the penetration of the VUV light (center wavelength 172 nm) emitted by the excimer lamp in the depth direction of the resin. |
| キーワード(和) | エポキシ樹脂 / エキシマランプ / 真空紫外分光器 / 吸収係数 |
| キーワード(英) | Epoxy resin / excimer lamp / VUV spectrometer / absorption coefficient |
| 資料番号 | CPM2023-13 |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2023/7/31(から2日開催) |
| 開催地（和） | 北見工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) |
| 委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) |
| 副委員長氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 番場 教子(信州大) / 武山 真弓(北見工大) |
| 幹事氏名（英） | Noriko Bamba(Shinshu Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 誘電体樹脂材料のVUV光による表面改質における真空紫外線の吸収特性の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of VUV Absorption Characteristics in Surface Modification of Dielectric Resin Materials by VUV Light |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | エポキシ樹脂 / Epoxy resin |
| キーワード(2)（和/英） | エキシマランプ / excimer lamp |
| キーワード(3)（和/英） | 真空紫外分光器 / VUV spectrometer |
| キーワード(4)（和/英） | 吸収係数 / absorption coefficient |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 遠藤 真一 / Shinichi Endo |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪府立大学大学院(略称：阪府大) Osaka Prefecture University(略称：Osaka Prefecture University) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 石川 有紀 / Yuki Ishikawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪府立大学大学院(略称：阪府大) Osaka Prefecture University(略称：Osaka Prefecture University) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 白樫 陽菜 / Hina Shirakashi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪公立大学大学院(略称：阪公大) Osaka Metropolitan University(略称：Osaka Metropolitan univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 齊藤 丈靖 / Takeyasu Saito |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 大阪公立大学大学院(略称：阪公大) Osaka Metropolitan University(略称：Osaka Metropolitan univ.) |
| 発表年月日 | 2023-07-31 |
| 資料番号 | CPM2023-13 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | CPM-142 |
| ページ範囲 | pp.7-10(CPM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) |