| 講演名 | 2023-07-31 抵抗変化型メモリとしてのZrN電極を用いたMIM構造の検討 三浦 豊生(北見工大), 佐藤 勝(北見工大), 武山 真弓(北見工大), |
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| 抄録(和) | 近年, 急速に進む情報社会において, 不揮発性メモリには, さらなる高性能化が求められているため, 次世代不揮発性メモリとして, 高密度化や大容量化が可能な抵抗変化型メモリが注目されている. そこで本研究では, ZrNを電極に用いたCu/SiOx/ZrN構造が抵抗変化型メモリとして機能するか検討した. その結果, I-V特性評価より, 動作電圧は3V以下で抵抗変化型メモリの動作を示した. |
| 抄録(英) | In the rapidly advancing information society, higher performance nonvolatile memories are demanded. In such a situation, Resistive Random Access Memory (ReRAM), which enables high density and large capacity, is attracting attention as an emerging memory. In this study, we investigated resistance switching of ReRAM with ZrN bottom electrode. As a result, according to I-V characterization of device, switching characteristics of below 3V are shown. |
| キーワード(和) | 次世代不揮発性メモリ / 抵抗変化型メモリ / ZrN |
| キーワード(英) | emerging memory / Resistive Random Access Memory / ZrN |
| 資料番号 | CPM2023-14 |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2023/7/31(から2日開催) |
| 開催地（和） | 北見工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) |
| 委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) |
| 副委員長氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 番場 教子(信州大) / 武山 真弓(北見工大) |
| 幹事氏名（英） | Noriko Bamba(Shinshu Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 抵抗変化型メモリとしてのZrN電極を用いたMIM構造の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Investigation of MIM structure with ZrN electrode as Resistive Random Access Memory |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 次世代不揮発性メモリ / emerging memory |
| キーワード(2)（和/英） | 抵抗変化型メモリ / Resistive Random Access Memory |
| キーワード(3)（和/英） | ZrN / ZrN |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 三浦 豊生 / Toyoki Miura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Institute) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐藤 勝 / Masaru Sato |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Institute) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 武山 真弓 / Mayumi Takeyama |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Institute) |
| 発表年月日 | 2023-07-31 |
| 資料番号 | CPM2023-14 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | CPM-142 |
| ページ範囲 | pp.11-12(CPM), |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) |