| 講演名 | 2023-07-20 非線形光学デバイスに向けたc軸平行ZnO薄膜のイオンビームアシストスパッタ成長 浴田 航平(早大), 賈 軍軍(早大), 柳谷 隆彦(早大), |
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| 抄録(和) | ウルツ鉱結晶のZnOやAlNは、中赤外域で透明であり、非線形光学効果を使ったレーザ波長変換デバイスへの応用が期待できる。非線形第２高調波の変換効率を最大にするためには、擬似位相整合構造が必要であり、c軸を基板に対して平行に反転成長した多層構造が求められる。エピタキシャル成長を使わないc軸平行成長を目指し、イオンビームアシストスパッタによりZnO薄膜およびAlN薄膜を作製した。ZnOおよびAlN薄膜の３次元的な結晶配向性はX線極点図により評価した。その結果、ZnO薄膜およびAlN薄膜はc軸が平行に成長し、かつイオンビームの照射方向c軸が成長することがわかった。 |
| 抄録(英) | Wurtzite crystals (such as ZnO and AlN) are attractive for applications in laser wavelength conversion devices using nonlinear optical effects. In order to obtain large harmonic conversion efficiency, the c-axis of the ZnO and AlN thin films need to be grown parallel to the substrate. The three dimensional crystalline orientations were examined by XRD pole figure.As the results, c-axis parallel growth in the ZnO and AlN thin films were observed. XRD pole figure revealed that the c-axis in the in-plane direction corresponds to the ion beam incident direction. |
| キーワード(和) | イオンビーム / ZnO薄膜 / AlN薄膜 |
| キーワード(英) | Ion beam / ZnO films / AlN films |
| 資料番号 | EMT2023-21,MW2023-39,OPE2023-21,EST2023-21,MWPTHz2023-17 |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST / MW / EMT / OPE / MWPTHz / IEE-EMT |
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| 開催期間 | 2023/7/20(から2日開催) |
| 開催地（和） | 室蘭工業大学 |
| 開催地（英） | Muroran Institute of Technology |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Workshop on Optical and Microwave technologies |
| 委員長氏名（和） | 君島 正幸(アドバンテスト研) / 大久保 賢祐(岡山県立大) / 川口 秀樹(室蘭工大) / 荒川 太郎(横浜国大) / 菅野 敦史(名工大) / 古川 愼一(日大) |
| 委員長氏名（英） | Masayuki Kimishima(Advantest) / Kensuke Okubo(Okayama Prefectural Univ.) / Hideki Kawaguchi(Muroran Inst. of Tech) / Taro Arakawa(Yokohama National Univ.) / Atsushi Kanno(Nagoya Inst. of Tech.) / Shinichi Furukawa(Nihon Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 阪本 卓也(京大) / 辻 寧英(室蘭工大) / 大寺 康夫(富山県立大学) / 真田 篤志(阪大) / 平井 暁人(三菱電機) / 鈴木 敬久(都立大) / / 冨士田 誠之(阪大) / 池田 研介(電中研) |
| 副委員長氏名（英） | Takuya Sakamoto(Kyoto Univ.) / Yasuhide Tsuji(Muroran Inst. of Tech.) / Yasuo Ohtera(Toyama Prefectural Univ.) / Atsushi Sanada(Osaka Univ.) / Akihito Hirai(Mitsubishi Electric) / Yukihisa Suzuki(Tokyo Metropolitan Univ.) / / Masayuki Fujita(Osaka Univ.) / Kensuke Ikeda(CRIEPI) |
| 幹事氏名（和） | 坂木 啓司(構造計画研究所) / 安藤 芳晃(電通大) / 石川 亮(電通大) / 今井 翔平(村田製作所) / 石田 健一(九州産業大) / 尾崎 亮介(日大) / 石坂 雄平(関東学院大) / 梅木 毅伺(NTT) / 山口 祐也(NICT) / 渡邊 一世(NICT) / 中 良弘(宮崎大) / 山本 伸一(三菱電機) |
| 幹事氏名（英） | Keiji Sakaki(Kozo Keikaku Engineering) / Yoshiaki Ando(Univ. of Electro-Comm) / Ryo Ishikawa(Univ. of Electro-Comm) / Shohei Imai(Murata Manufacturing) / Kenichi Ishida(Kyushu Sangyo Univ.) / Ryousuke Ozaki(Nihon Univ.) / Yuhei Ishizaka(Kanto Gakuin Univ.) / Takeshi Umeki(NTT) / Yuya Yamaguchi(NICT) / Issei Watanabe(NICT) / Yoshihiro Naka(Univ. of Miyazaki) / Shinichi Yamamoto(Mitsubishi Electric) |
| 幹事補佐氏名（和） | 柳田 朋則(アドバンテスト研究所) / 井口 亜希人(室蘭工大) / 古市 朋之(東北大) / 片山 光亮(徳山高専) / 夏秋 嶺(東大) / 藤澤 剛(北大) / 那須 秀行(古河電工) / 易 利(阪大) / 佐藤 昭(東北大) / 鈴木 左文(東工大) / 新納 和樹(京大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Tomonori Yanagida(Advantest) / Akito Iguchi(Muroran Inst. of Tech) / Tomoyuki Furuichi(Tohoku Univ.) / Kosuke Katayama(NIT Tokuyama College) / Ryo Natsuaki(Univ. of Tokyo) / Takshi Fujisawa(Hokaido Univ.) / Hideyuki Nasu(Furukawa Electric) / Li Yi(Osaka Univ.) / Akira Satou(Tohoku Univ.) / Safumi Suzuki(Tokyo Inst. of Tech.) / Kazuki Niino(Kyoto Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electronics Simulation Technology / Technical Committee on Microwaves / Technical Committee on Electromagnetic Theory / Technical Committee on OptoElectronics / Technical Committee on Microwave Photonics and Terahertz Photonic-Electronic Technologies / Technical Meeting on Electromagnetic Theory |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 非線形光学デバイスに向けたc軸平行ZnO薄膜のイオンビームアシストスパッタ成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | IBAD c-axis parallel ZnO thin films for nonlinear optical device applications |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | イオンビーム / Ion beam |
| キーワード(2)（和/英） | ZnO薄膜 / ZnO films |
| キーワード(3)（和/英） | AlN薄膜 / AlN films |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 浴田 航平 / Kohei Ekida |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 賈 軍軍 / Junjun Jia |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-07-20 |
| 資料番号 | EMT2023-21,MW2023-39,OPE2023-21,EST2023-21,MWPTHz2023-17 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | EMT-114,MW-115,OPE-116,EST-117,MWPTHz-118 |
| ページ範囲 | pp.67-70(EMT), pp.67-70(MW), pp.67-70(OPE), pp.67-70(EST), pp.67-70(MWPTHz), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |