| 講演名 | 2023-07-21 Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 島野 耀康(早大), 矢田部 浩平(東京農工大), 柳谷 隆彦(早大), |
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| 抄録(和) | 電気機械結合係数はRFフィルタの帯域や挿入損失を決定づける重要な評価指標である。実際のBAWデバイスではMoやRuなどの重い電極で圧電層を挟んでデバイス全体の実効的な電気機械結合係数keff2を向上させる方法が使われる。しかしながら基板付き薄膜共振子(HBAR)において、電極効果を含んだkeff2の直接評価は未だできていない。そこで本報告では基板を除去せずに信号処理によりFBAR特性を模擬し、通常の共振反共振法を用いてkeff2を直接抽出する新しい手法を提案する。 |
| 抄録(英) | The electromechanical coupling coefficient is one of the important parameters for determining the performances of RF filters, such as insertion loss and bandwidth. In terms of BAW devices, heavy metal (e.g., Mo or Ru) is used for electrodes to improve an effective electromechanical coupling coefficient keff2. However, in piezoelectric thin film/substrate structure (HBAR), a method for extracting keff2 including electrode effects has not been reported yet. In this study, we propose a new method for producing pseudo FBAR data from experimental data of HBAR without substrate removal but by using signal processing. In this new method, we can directly evaluate keff2 of HBAR using the resonance-antiresonance method. |
| キーワード(和) | 圧電体 / BAW / 電気機械結合係数 |
| キーワード(英) | Piezoelectric material / BAW / Electromechanical coupling coefficient |
| 資料番号 | EMT2023-56,MW2023-74,OPE2023-56,EST2023-56,MWPTHz2023-52 |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EST / MW / EMT / OPE / MWPTHz / IEE-EMT |
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| 開催期間 | 2023/7/20(から2日開催) |
| 開催地（和） | 室蘭工業大学 |
| 開催地（英） | Muroran Institute of Technology |
| テーマ（和） | 光・電波ワークショップ |
| テーマ（英） | Workshop on Optical and Microwave technologies |
| 委員長氏名（和） | 君島 正幸(アドバンテスト研) / 大久保 賢祐(岡山県立大) / 川口 秀樹(室蘭工大) / 荒川 太郎(横浜国大) / 菅野 敦史(名工大) / 古川 愼一(日大) |
| 委員長氏名（英） | Masayuki Kimishima(Advantest) / Kensuke Okubo(Okayama Prefectural Univ.) / Hideki Kawaguchi(Muroran Inst. of Tech) / Taro Arakawa(Yokohama National Univ.) / Atsushi Kanno(Nagoya Inst. of Tech.) / Shinichi Furukawa(Nihon Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 阪本 卓也(京大) / 辻 寧英(室蘭工大) / 大寺 康夫(富山県立大学) / 真田 篤志(阪大) / 平井 暁人(三菱電機) / 鈴木 敬久(都立大) / / 冨士田 誠之(阪大) / 池田 研介(電中研) |
| 副委員長氏名（英） | Takuya Sakamoto(Kyoto Univ.) / Yasuhide Tsuji(Muroran Inst. of Tech.) / Yasuo Ohtera(Toyama Prefectural Univ.) / Atsushi Sanada(Osaka Univ.) / Akihito Hirai(Mitsubishi Electric) / Yukihisa Suzuki(Tokyo Metropolitan Univ.) / / Masayuki Fujita(Osaka Univ.) / Kensuke Ikeda(CRIEPI) |
| 幹事氏名（和） | 坂木 啓司(構造計画研究所) / 安藤 芳晃(電通大) / 石川 亮(電通大) / 今井 翔平(村田製作所) / 石田 健一(九州産業大) / 尾崎 亮介(日大) / 石坂 雄平(関東学院大) / 梅木 毅伺(NTT) / 山口 祐也(NICT) / 渡邊 一世(NICT) / 中 良弘(宮崎大) / 山本 伸一(三菱電機) |
| 幹事氏名（英） | Keiji Sakaki(Kozo Keikaku Engineering) / Yoshiaki Ando(Univ. of Electro-Comm) / Ryo Ishikawa(Univ. of Electro-Comm) / Shohei Imai(Murata Manufacturing) / Kenichi Ishida(Kyushu Sangyo Univ.) / Ryousuke Ozaki(Nihon Univ.) / Yuhei Ishizaka(Kanto Gakuin Univ.) / Takeshi Umeki(NTT) / Yuya Yamaguchi(NICT) / Issei Watanabe(NICT) / Yoshihiro Naka(Univ. of Miyazaki) / Shinichi Yamamoto(Mitsubishi Electric) |
| 幹事補佐氏名（和） | 柳田 朋則(アドバンテスト研究所) / 井口 亜希人(室蘭工大) / 古市 朋之(東北大) / 片山 光亮(徳山高専) / 夏秋 嶺(東大) / 藤澤 剛(北大) / 那須 秀行(古河電工) / 易 利(阪大) / 佐藤 昭(東北大) / 鈴木 左文(東工大) / 新納 和樹(京大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Tomonori Yanagida(Advantest) / Akito Iguchi(Muroran Inst. of Tech) / Tomoyuki Furuichi(Tohoku Univ.) / Kosuke Katayama(NIT Tokuyama College) / Ryo Natsuaki(Univ. of Tokyo) / Takshi Fujisawa(Hokaido Univ.) / Hideyuki Nasu(Furukawa Electric) / Li Yi(Osaka Univ.) / Akira Satou(Tohoku Univ.) / Safumi Suzuki(Tokyo Inst. of Tech.) / Kazuki Niino(Kyoto Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electronics Simulation Technology / Technical Committee on Microwaves / Technical Committee on Electromagnetic Theory / Technical Committee on OptoElectronics / Technical Committee on Microwave Photonics and Terahertz Photonic-Electronic Technologies / Technical Meeting on Electromagnetic Theory |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Mason等価回路シミュレーションを用いた圧電薄膜の電気機械結合係数の新規評価法の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of new method for evaluating electromechanical coupling coefficient using Mason’s equivalent circuit model simulation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 圧電体 / Piezoelectric material |
| キーワード(2)（和/英） | BAW / BAW |
| キーワード(3)（和/英） | 電気機械結合係数 / Electromechanical coupling coefficient |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 島野 耀康 / Yohkoh Shimano |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 矢田部 浩平 / Kohei Yatabe |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：Tokyo Univ. of Agri. and Tech.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-07-21 |
| 資料番号 | EMT2023-56,MW2023-74,OPE2023-56,EST2023-56,MWPTHz2023-52 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | EMT-114,MW-115,OPE-116,EST-117,MWPTHz-118 |
| ページ範囲 | pp.241-242(EMT), pp.241-242(MW), pp.241-242(OPE), pp.241-242(EST), pp.241-242(MWPTHz), |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | 2023-07-13 (EMT, MW, OPE, EST, MWPTHz) |