| 講演名 | 2023-06-08 Co酸化物添加ターゲット材からの酸素欠損補填スパッタリングによるCoPtCr-酸化物グラニュラ型磁気テープの開発 立花 淳一(ソニーストレージメディアソリューションズ), 小林 弘幸(ソニーストレージメディアソリューションズ), 齋 輝夫(ソニーストレージメディアソリューションズ), 相澤 隆嗣(ソニーストレージメディアソリューションズ), 斉藤 伸(東北大), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | スパッタテープのノイズ低減を目的として，ロール・トゥ・ロール式スパッタリング装置によるグラニュラ記録層の成膜において，CoPtCr-SiO2複合ターゲットへのCo3O4添加によるグラニュラ記録層の酸化制御法について検討を行った．その結果，ターゲットへのCo3O4の添加により，記録層スパッタ中に磁性粒内からSiとCrが粒界に拡散し酸化することで，磁性粒の磁気的分離の促進と磁気異方性の向上が同時に起きることがわかった．信号対雑音比（SNR）は，1.2 mol% のCo3O4添加により、線記録密度 353 kfci において3.6 dB向上した． |
| 抄録(英) | The oxidization in the granular recording layer controlled by changing the amount of Co3O4 added to the CoPtCr-SiO2 composite target was investigated to reduce the noise of the sputtered tapes under distinctive conditions of the roll-to-roll sputtering system. The addition of Co3O4 causes the diffusion of Si and Cr from within the magnetic grains to the oxide grain boundaries by oxidation, resulting in the simultaneous enhancement of magnetic isolation and magnetic anisotropy. The noise voltage was reduced owing to the enhanced magnetic isolation, and the signal-to-noise ratio (SNR) improved by 3.6 dB with the addition of 1.2 mol% Co3O4 to the target. |
| キーワード(和) | スパッタテープ / ロール・トゥ・ロール成膜機 / CoPtCr グラニュラ記録層 / CoPtCr-SiO2-Co3O4複合ターゲット |
| キーワード(英) | sputtered tape / roll-to-roll system / CoPtCr-based granular recording layer / CoPtCr-SiO2-Co3O4 composite target |
| 資料番号 | MRIS2023-4 |
| 発行日 | 2023-06-01 (MRIS) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MRIS / ITE-MMS |
|---|---|
| 開催期間 | 2023/6/8(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大（通研） |
| 開催地（英） | Tohoku Univ. （RIEC) |
| テーマ（和） | 記録システム・ヘッド・媒体＋一般 |
| テーマ（英） | Recording system, head, media, etc |
| 委員長氏名（和） | 田河 育也(東北工大) / 町田 賢司(NHK) |
| 委員長氏名（英） | Ikuya Tagawa(Tohoku Inst. of Tech.) / 町田 賢司(NHK) |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | 仲村 泰明(愛媛大) / 平山 義幸(サムスン日本研究所) / 吉村 哲(秋田大) / 武者 敦史(富士フイルム) / 文仙 正俊(福岡大) / 加藤 大典(NHK) |
| 幹事氏名（英） | Yasuaki Nakamura(Ehime Univ.) / Yoshiyuki Hirayama(Samsung) / 吉村 哲(秋田大) / 武者 敦史(富士フイルム) / 文仙 正俊(福岡大) / 加藤 大典(NHK) |
| 幹事補佐氏名（和） | 菊池 伸明(東北大) / 山路 俊樹(産総研) |
| 幹事補佐氏名（英） | Nobuaki Kikuchi(Tohoku Univ.) / Toshiki Yamaji(AIST) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Magnetic Recording & Information Storage / Technical Group on Multi-media Storage |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Co酸化物添加ターゲット材からの酸素欠損補填スパッタリングによるCoPtCr-酸化物グラニュラ型磁気テープの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of CoPtCr-oxide granular typed sputtered tape with oxygen deficiency compensation from Co oxide-added composite target |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | スパッタテープ / sputtered tape |
| キーワード(2)（和/英） | ロール・トゥ・ロール成膜機 / roll-to-roll system |
| キーワード(3)（和/英） | CoPtCr グラニュラ記録層 / CoPtCr-based granular recording layer |
| キーワード(4)（和/英） | CoPtCr-SiO2-Co3O4複合ターゲット / CoPtCr-SiO2-Co3O4 composite target |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 立花 淳一 / Junichi Tachibana |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ソニーストレージメディアソリュージョンズ株式会社(略称：ソニーストレージメディアソリューションズ) Sony Storage Media Solutions Corporation(略称：Sony Storage Media Solutions) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小林 弘幸 / HIroyuki Kobayashi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ソニーストレージメディアソリュージョンズ株式会社(略称：ソニーストレージメディアソリューションズ) Sony Storage Media Solutions Corporation(略称：Sony Storage Media Solutions) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 齋 輝夫 / Teruo Sai |
| 第 3 著者 所属（和/英） | ソニーストレージメディアソリュージョンズ株式会社(略称：ソニーストレージメディアソリューションズ) Sony Storage Media Solutions Corporation(略称：Sony Storage Media Solutions) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 相澤 隆嗣 / Takashi Aizawa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | ソニーストレージメディアソリュージョンズ株式会社(略称：ソニーストレージメディアソリューションズ) Sony Storage Media Solutions Corporation(略称：Sony Storage Media Solutions) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 斉藤 伸 / Shin Saito |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-06-08 |
| 資料番号 | MRIS2023-4 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | MRIS-65 |
| ページ範囲 | pp.21-26(MRIS), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-06-01 (MRIS) |