| 講演名 | 2023-05-19 ［招待講演］フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験 前元 利彦(阪工大), 大浦 紀頼(阪工大), 和田 英男(阪工大), 小山 政俊(阪工大), 佐々 誠彦(阪工大), 藤井 彰彦(阪工大), |
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| 抄録(和) | 酸化物半導体のフレキシブル応用を目指して，基板を曲げても動作する酸化物薄膜デバイスの構造と，その曲げ耐久性の評価および曲げた際の破壊メカニズムについて調べたのでそれらの内容について報告する．シクロオレフィンポリマー (Cyclo Olefin Polymer: COP) をフレキシブル基板として用い，パルスレーザ堆積法を用いて酸化亜鉛系の薄膜を形成した．繰返し曲げ試験機を用いて試験を行った後，表面観察，結晶性評価，電気特性を測定し，基板厚さによる依存性を評価した．また，曲げ試験における試料の破壊メカニズムをナノインデンテーションの測定結果と併せて議論したので，それらの結果について報告する． |
| 抄録(英) | We investigated the device structure of oxide thin-film devices that can operate even when bending, the evaluation of their bending durability, and the fracture mechanism under bending to develop flexible applications of oxide semiconductors. ZnO thin-films were deposited on Cyclo-Olefin-Polymer (COP) substrates using the Pulsed Laser Deposition (PLD) method, and the thin-films were tested using a cyclic bending tester. After the cyclic bending tests, surface observations, crystallinity evaluations, and electrical property measurements were conducted, and the dependence on substrate thickness was evaluated. Using nanoindentation, we discussed the failure mechanism of the samples in the bending tests and determined the optimal sample structure for flexible devices. |
| キーワード(和) | 酸化物半導体 / 酸化亜鉛 / フレキシブル / シクロオレフィンポリマー / ナノインデンテーション |
| キーワード(英) | Oxide Semiconductor / Zinc Oxide / Flexible / COP / Nanoindentation |
| 資料番号 | ED2023-1,CPM2023-1,SDM2023-18 |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM / ED / SDM |
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| 開催期間 | 2023/5/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | 名古屋工大 |
| 開催地（英） | Nagoya Institute of Technology |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中村 雄一(豊橋技科大) / 藤代 博記(東京理科大) / 大見 俊一郎(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) / Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) / 葛西 誠也(北大) / 宇佐美 達矢(日本エーエスエム) |
| 副委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Tatsuya Usami(ASM Japan) |
| 幹事氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) / 大石 敏之(佐賀大) / 堤 卓也(NTT) / 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) |
| 幹事氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Takuya Tsutsumi(NTT) / Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) / 小山 政俊(阪工大) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(サンディスク) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) / Masatoshi Koyama(Osaka Inst. of Tech.) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(SanDisk) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］フレキシブル基板上に室温成膜した酸化亜鉛薄膜の繰返し曲げ耐久試験 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Repeated bending endurance test of zinc oxide thin films deposited at room temperature on flexible substrates |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化物半導体 / Oxide Semiconductor |
| キーワード(2)（和/英） | 酸化亜鉛 / Zinc Oxide |
| キーワード(3)（和/英） | フレキシブル / Flexible |
| キーワード(4)（和/英） | シクロオレフィンポリマー / COP |
| キーワード(5)（和/英） | ナノインデンテーション / Nanoindentation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 前元 利彦 / Toshihiko Maemoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪工業大学(略称：阪工大) Osaka Institute of Technology(略称：Osaka Inst. of Tech.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大浦 紀頼 / Kazuyori Oura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪工業大学(略称：阪工大) Osaka Institute of Technology(略称：Osaka Inst. of Tech.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 和田 英男 / Hideo Wada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪工業大学(略称：阪工大) Osaka Institute of Technology(略称：Osaka Inst. of Tech.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 小山 政俊 / Masatoshi Koyama |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 大阪工業大学(略称：阪工大) Osaka Institute of Technology(略称：Osaka Inst. of Tech.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 佐々 誠彦 / Shigehiko Sasa |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 大阪工業大学(略称：阪工大) Osaka Institute of Technology(略称：Osaka Inst. of Tech.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 藤井 彰彦 / Ahikiko Fujii |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 大阪工業大学(略称：阪工大) Osaka Institute of Technology(略称：Osaka Inst. of Tech.) |
| 発表年月日 | 2023-05-19 |
| 資料番号 | ED2023-1,CPM2023-1,SDM2023-18 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | ED-41,CPM-42,SDM-43 |
| ページ範囲 | pp.1-6(ED), pp.1-6(CPM), pp.1-6(SDM), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |