講演名 | 2023-05-19 AlGaN/GaN高電子移動度トランジスタの集積化に向けた素子分離技術の検討 赤松 龍弥(豊橋技科大), 秋良 芳樹(豊橋技科大), 岡田 浩(豊橋技科大), |
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資料番号 | ED2023-8,CPM2023-8,SDM2023-25 |
発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |
研究会情報 | |
研究会 | CPM / ED / SDM |
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開催期間 | 2023/5/19(から1日開催) |
開催地(和) | 名古屋工大 |
開催地(英) | Nagoya Institute of Technology |
テーマ(和) | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
テーマ(英) | |
委員長氏名(和) | 中村 雄一(豊橋技科大) / 藤代 博記(東京理科大) / 大見 俊一郎(東工大) |
委員長氏名(英) | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) / Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
副委員長氏名(和) | 中澤 日出樹(弘前大) / 葛西 誠也(北大) / 宇佐美 達矢(日本エーエスエム) |
副委員長氏名(英) | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Tatsuya Usami(ASM Japan) |
幹事氏名(和) | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) / 大石 敏之(佐賀大) / 堤 卓也(NTT) / 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) |
幹事氏名(英) | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Takuya Tsutsumi(NTT) / Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) |
幹事補佐氏名(和) | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) / 小山 政俊(阪工大) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(サンディスク) |
幹事補佐氏名(英) | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) / Masatoshi Koyama(Osaka Inst. of Tech.) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(SanDisk) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | AlGaN/GaN高電子移動度トランジスタの集積化に向けた素子分離技術の検討 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Study of device isolation technology of AlGaN/GaN high-electron-mobility transistors for their integration |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 赤松 龍弥 / Tatsuya Akamatsu |
第 1 著者 所属(和/英) | 豊橋技術科学大学(略称:豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称:TUT) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 秋良 芳樹 / Yoshiki Akira |
第 2 著者 所属(和/英) | 豊橋技術科学大学(略称:豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称:TUT) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 岡田 浩 / Hiroshi Okada |
第 3 著者 所属(和/英) | 豊橋技術科学大学(略称:豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称:TUT) |
発表年月日 | 2023-05-19 |
資料番号 | ED2023-8,CPM2023-8,SDM2023-25 |
巻番号(vol) | vol.123 |
号番号(no) | ED-41,CPM-42,SDM-43 |
ページ範囲 | pp.32-35(ED), pp.32-35(CPM), pp.32-35(SDM), |
ページ数 | 4 |
発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |