| 講演名 | 2023-05-19 近赤外自由電子レーザ照射によってシリコン基板上に形成された微細周期構造(LIPSS) 星野 陽太(日大), 野平 真義(日大), 岩田 展幸(日大), |
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| 抄録(和) | 近赤外自由電子レーザ照射によってLIPSSの形成を試みた。FELを低抵抗N型Si基板に集光照射し実験を行った。非線形結晶により発生させた第2次高調波 波長900 nm ~ 1200 nmの条件で照射領域内部に波長よりも短い間隔を持つLIPSSの形成に初めて成功した。波長900 nmでは間隔670 nm,波長1100 nmでは間隔900 nm,波長1200 nmでは間隔970 nmと波長に比例して構造の間隔が広くなっていることが分かった。また、波長3500 nmでも実験を行い間隔750 nm程度のLIPSSの形成に成功した。 |
| 抄録(英) | We attempted to create Laser-Induced Periodic Surface Structures (LIPSS) by irradiating the Free Electron Laser (FEL) to the low-resistance N-type Si substrate with in the near-infrared region. Using the second harmonic laser generated from a non-linear crystal with a wavelength range of 900 nm to 1200 nm, we successfully created LIPSS with intervals shorter than the wavelength on the irradiation area. We found that the periodic distance of the one dimensional featured structures became wider in proportion to the wavelength: with intervals of 670, 900, and 970 nm at a wavelength of 900, 1100 nm and 1200 nm, respectively. Additionally, we succeeded in creating LIPSS with intervals of approximately 750 nm using a wavelength of 3500 nm FEL. |
| キーワード(和) | LIPSS / 自由電子レーザ / FEL / 微細周期構造 |
| キーワード(英) | LIPSS / Free Electron Laser / FEL / Microscale periodic structures |
| 資料番号 | ED2023-3,CPM2023-3,SDM2023-20 |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM / ED / SDM |
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| 開催期間 | 2023/5/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | 名古屋工大 |
| 開催地（英） | Nagoya Institute of Technology |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中村 雄一(豊橋技科大) / 藤代 博記(東京理科大) / 大見 俊一郎(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) / Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) / 葛西 誠也(北大) / 宇佐美 達矢(日本エーエスエム) |
| 副委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Tatsuya Usami(ASM Japan) |
| 幹事氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) / 大石 敏之(佐賀大) / 堤 卓也(NTT) / 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) |
| 幹事氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Takuya Tsutsumi(NTT) / Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) / 小山 政俊(阪工大) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(サンディスク) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) / Masatoshi Koyama(Osaka Inst. of Tech.) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(SanDisk) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 近赤外自由電子レーザ照射によってシリコン基板上に形成された微細周期構造(LIPSS) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Micro Periodic Structures (LIPSS) Formed on Si Substrates Using Near-Infrared Free Electron Laser Irradiation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LIPSS / LIPSS |
| キーワード(2)（和/英） | 自由電子レーザ / Free Electron Laser |
| キーワード(3)（和/英） | FEL / FEL |
| キーワード(4)（和/英） | 微細周期構造 / Microscale periodic structures |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 星野 陽太 / Youta Hoshino |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本大学(略称：日大) Nihon University(略称：Nihon Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野平 真義 / Nohira Masayoshi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本大学(略称：日大) Nihon University(略称：Nihon Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岩田 展幸 / Nobuyuki Iwata |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本大学(略称：日大) Nihon University(略称：Nihon Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-05-19 |
| 資料番号 | ED2023-3,CPM2023-3,SDM2023-20 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | ED-41,CPM-42,SDM-43 |
| ページ範囲 | pp.11-15(ED), pp.11-15(CPM), pp.11-15(SDM), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |